发光学报
髮光學報
발광학보
CHINESE JOURNAL OF LUMINESCENCE
2006年
1期
75-79
,共5页
康香宁%章蓓%胡成余%王琦%陈志忠%张国义
康香寧%章蓓%鬍成餘%王琦%陳誌忠%張國義
강향저%장배%호성여%왕기%진지충%장국의
p-GaN%欧姆接触%反射电极%两步合金法%激光剥离%垂直结构LED
p-GaN%歐姆接觸%反射電極%兩步閤金法%激光剝離%垂直結構LED
p-GaN%구모접촉%반사전겁%량보합금법%격광박리%수직결구LED
根据光学薄膜原理计算了GaN/Ti/Ag、 GaN/Al和GaN/Ni/Au/Ti/Ag、 GaN/Ni/Au/Al多层电极结构的反射率,得出Ag基和Al基反射电极均能在全角范围内提供较高的反射率.实验测量结果表明,反射率能高于80%的Ag基反射电极,具有低欧姆接触的电学特性.并将GaN/Ni/Au/Ti/Ag多层反射电极应用在上下电极结构的GaN基LED中.实验上采用两步合金法获得了低接触电阻、高反射率的电极结构,并引入Ni/Au覆盖层克服了Ag高温时的团聚和氧化现象.解决了Ag电极的稳定性问题,显著地提高了LED的出光效率,成功制备了具有上下电极结构的GaN基LED管芯.
根據光學薄膜原理計算瞭GaN/Ti/Ag、 GaN/Al和GaN/Ni/Au/Ti/Ag、 GaN/Ni/Au/Al多層電極結構的反射率,得齣Ag基和Al基反射電極均能在全角範圍內提供較高的反射率.實驗測量結果錶明,反射率能高于80%的Ag基反射電極,具有低歐姆接觸的電學特性.併將GaN/Ni/Au/Ti/Ag多層反射電極應用在上下電極結構的GaN基LED中.實驗上採用兩步閤金法穫得瞭低接觸電阻、高反射率的電極結構,併引入Ni/Au覆蓋層剋服瞭Ag高溫時的糰聚和氧化現象.解決瞭Ag電極的穩定性問題,顯著地提高瞭LED的齣光效率,成功製備瞭具有上下電極結構的GaN基LED管芯.
근거광학박막원리계산료GaN/Ti/Ag、 GaN/Al화GaN/Ni/Au/Ti/Ag、 GaN/Ni/Au/Al다층전겁결구적반사솔,득출Ag기화Al기반사전겁균능재전각범위내제공교고적반사솔.실험측량결과표명,반사솔능고우80%적Ag기반사전겁,구유저구모접촉적전학특성.병장GaN/Ni/Au/Ti/Ag다층반사전겁응용재상하전겁결구적GaN기LED중.실험상채용량보합금법획득료저접촉전조、고반사솔적전겁결구,병인입Ni/Au복개층극복료Ag고온시적단취화양화현상.해결료Ag전겁적은정성문제,현저지제고료LED적출광효솔,성공제비료구유상하전겁결구적GaN기LED관심.
