真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2009年
1期
102-106
,共5页
张隐奇%吉元%王丽%卫斌%戴琳%史佳新%张虹
張隱奇%吉元%王麗%衛斌%戴琳%史佳新%張虹
장은기%길원%왕려%위빈%대림%사가신%장홍
环境扫描电镜(ESEM)%X-射线能量分散谱(EDS)%荷电效应%非导电陶瓷
環境掃描電鏡(ESEM)%X-射線能量分散譜(EDS)%荷電效應%非導電陶瓷
배경소묘전경(ESEM)%X-사선능량분산보(EDS)%하전효응%비도전도자
本文分析了在环境扫描电镜中,Al2O3等非导电陶瓷样品的荷电效应和环境压力对X-射线能谱仪(EDS)元素分析造成的影响.研究了相应的补偿和校正方法.在高真空模式下,荷电效应使氧含量明显增加.采用低真空模式(LV)消除了荷电效应和减小了表面电势,因而减小了EDS的测量误差.在LV模式中采用X-射线压力限制光阑(PLA)杯,减小了电子束的裙散效应,使EDS的测量误差进一步减小.较高的压力环境增加了对电子束和低能X-射线的散射作用,使EDS的测量误差明显增加.
本文分析瞭在環境掃描電鏡中,Al2O3等非導電陶瓷樣品的荷電效應和環境壓力對X-射線能譜儀(EDS)元素分析造成的影響.研究瞭相應的補償和校正方法.在高真空模式下,荷電效應使氧含量明顯增加.採用低真空模式(LV)消除瞭荷電效應和減小瞭錶麵電勢,因而減小瞭EDS的測量誤差.在LV模式中採用X-射線壓力限製光闌(PLA)杯,減小瞭電子束的裙散效應,使EDS的測量誤差進一步減小.較高的壓力環境增加瞭對電子束和低能X-射線的散射作用,使EDS的測量誤差明顯增加.
본문분석료재배경소묘전경중,Al2O3등비도전도자양품적하전효응화배경압력대X-사선능보의(EDS)원소분석조성적영향.연구료상응적보상화교정방법.재고진공모식하,하전효응사양함량명현증가.채용저진공모식(LV)소제료하전효응화감소료표면전세,인이감소료EDS적측량오차.재LV모식중채용X-사선압력한제광란(PLA)배,감소료전자속적군산효응,사EDS적측량오차진일보감소.교고적압력배경증가료대전자속화저능X-사선적산사작용,사EDS적측량오차명현증가.
