微纳电子技术
微納電子技術
미납전자기술
MICRONANOELECTRONIC TECHNOLOGY
2009年
4期
244-249
,共6页
严伟%胡松%杨勇%周绍林%蒋文波%李艳丽%乔俊仙
嚴偉%鬍鬆%楊勇%週紹林%蔣文波%李豔麗%喬俊仙
엄위%호송%양용%주소림%장문파%리염려%교준선
电子束曝光机%激光干涉仪%精密工件台%光刻%方向敏感性
電子束曝光機%激光榦涉儀%精密工件檯%光刻%方嚮敏感性
전자속폭광궤%격광간섭의%정밀공건태%광각%방향민감성
介绍了电子束曝光技术的原理.根据精密工件台对测量系统的需要,设计了三轴工件台测量系统布局方式,并简单介绍了激光干涉测量系统所需元器件数量的计算方法.重点讨论了双频激光干涉测量原理、双频光束与运动方向敏感性的关系以及读出装置信号处理方法.在此基础上,对研制的电子束曝光系统精密工件台进行了直线性和垂直性实验测试,其测量分辨率达到0.6 nm,测量重复性精度达到±0.06 μm,测量绝对误差达到0.011μm.结果表明,采用双频激光测量系统可确保工件台系统测量和定位准确性.
介紹瞭電子束曝光技術的原理.根據精密工件檯對測量繫統的需要,設計瞭三軸工件檯測量繫統佈跼方式,併簡單介紹瞭激光榦涉測量繫統所需元器件數量的計算方法.重點討論瞭雙頻激光榦涉測量原理、雙頻光束與運動方嚮敏感性的關繫以及讀齣裝置信號處理方法.在此基礎上,對研製的電子束曝光繫統精密工件檯進行瞭直線性和垂直性實驗測試,其測量分辨率達到0.6 nm,測量重複性精度達到±0.06 μm,測量絕對誤差達到0.011μm.結果錶明,採用雙頻激光測量繫統可確保工件檯繫統測量和定位準確性.
개소료전자속폭광기술적원리.근거정밀공건태대측량계통적수요,설계료삼축공건태측량계통포국방식,병간단개소료격광간섭측량계통소수원기건수량적계산방법.중점토론료쌍빈격광간섭측량원리、쌍빈광속여운동방향민감성적관계이급독출장치신호처리방법.재차기출상,대연제적전자속폭광계통정밀공건태진행료직선성화수직성실험측시,기측량분변솔체도0.6 nm,측량중복성정도체도±0.06 μm,측량절대오차체도0.011μm.결과표명,채용쌍빈격광측량계통가학보공건태계통측량화정위준학성.
