润滑与密封
潤滑與密封
윤활여밀봉
LUBRICATION ENGINEERING
2010年
11期
86-89
,共4页
杨拉毛草%周晖%郑军%桑瑞鹏%万志华
楊拉毛草%週暉%鄭軍%桑瑞鵬%萬誌華
양랍모초%주휘%정군%상서붕%만지화
非平衡磁控溅射%金刚石碳膜%力学性能%摩擦学性能
非平衡磁控濺射%金剛石碳膜%力學性能%摩抆學性能
비평형자공천사%금강석탄막%역학성능%마찰학성능
利用非平衡磁控溅射技术在单晶硅片及9Cr18不锈钢基体表面制备不同非平衡线圈电流下的掺钨含氢类金刚石碳膜.采用Raman光谱以及红外光谱分析薄膜结构,采用纳米硬度测试仪和纳米划痕仪研究薄膜的纳米硬度和膜基附着力,在球-盘摩擦磨损试验机上测试薄膜的摩擦学性能.结果表明:制备的薄膜样品具有典型的类金刚石碳膜结构,薄膜中含氢量较高;非平衡线圈电流对等离子体的限制条件影响着薄膜的力学和摩擦学性能,薄膜硬度和弹性模量随着非平衡线圈电流增加而增大,薄膜的摩擦因数在非平衡线圈电流增加到最大值8 A时达到最小值0.118,在此参数下的耐磨寿命也最长.
利用非平衡磁控濺射技術在單晶硅片及9Cr18不鏽鋼基體錶麵製備不同非平衡線圈電流下的摻鎢含氫類金剛石碳膜.採用Raman光譜以及紅外光譜分析薄膜結構,採用納米硬度測試儀和納米劃痕儀研究薄膜的納米硬度和膜基附著力,在毬-盤摩抆磨損試驗機上測試薄膜的摩抆學性能.結果錶明:製備的薄膜樣品具有典型的類金剛石碳膜結構,薄膜中含氫量較高;非平衡線圈電流對等離子體的限製條件影響著薄膜的力學和摩抆學性能,薄膜硬度和彈性模量隨著非平衡線圈電流增加而增大,薄膜的摩抆因數在非平衡線圈電流增加到最大值8 A時達到最小值0.118,在此參數下的耐磨壽命也最長.
이용비평형자공천사기술재단정규편급9Cr18불수강기체표면제비불동비평형선권전류하적참오함경류금강석탄막.채용Raman광보이급홍외광보분석박막결구,채용납미경도측시의화납미화흔의연구박막적납미경도화막기부착력,재구-반마찰마손시험궤상측시박막적마찰학성능.결과표명:제비적박막양품구유전형적류금강석탄막결구,박막중함경량교고;비평형선권전류대등리자체적한제조건영향착박막적역학화마찰학성능,박막경도화탄성모량수착비평형선권전류증가이증대,박막적마찰인수재비평형선권전류증가도최대치8 A시체도최소치0.118,재차삼수하적내마수명야최장.
