人工晶体学报
人工晶體學報
인공정체학보
2012年
2期
448-451
,共4页
张效华%辛凤%胡跃辉%杨丰%陈义川
張效華%辛鳳%鬍躍輝%楊豐%陳義川
장효화%신봉%호약휘%양봉%진의천
Bi1.5ZnNb1.5O7薄膜%脉冲激光沉积%微结构%介电性能
Bi1.5ZnNb1.5O7薄膜%脈遲激光沉積%微結構%介電性能
Bi1.5ZnNb1.5O7박막%맥충격광침적%미결구%개전성능
采用固相反应法合成具有焦绿石立方结构的Bi1.5ZnNb1.507(BZN)陶瓷靶材,采用脉冲激光沉积法在Pt/SiO2/Si(100)基片上制备立方BZN薄膜.研究了沉积氧压的变化对薄膜的结晶性能,微观形貌以及介电性能的影响.结果表明:沉积的BZN薄膜都呈现出立方焦绿石单相结构,但是薄膜的取向随氧压变化而变化.当沉积氧压为10Pa时,薄膜的(222)晶面拥有最强的择优取向.随着氧压的升高,BZN薄膜的介电常数明显降低.在10 Pa氧压下沉积的BZN薄膜展示出介电可调特性为5％ (500 kV/cm).
採用固相反應法閤成具有焦綠石立方結構的Bi1.5ZnNb1.507(BZN)陶瓷靶材,採用脈遲激光沉積法在Pt/SiO2/Si(100)基片上製備立方BZN薄膜.研究瞭沉積氧壓的變化對薄膜的結晶性能,微觀形貌以及介電性能的影響.結果錶明:沉積的BZN薄膜都呈現齣立方焦綠石單相結構,但是薄膜的取嚮隨氧壓變化而變化.噹沉積氧壓為10Pa時,薄膜的(222)晶麵擁有最彊的擇優取嚮.隨著氧壓的升高,BZN薄膜的介電常數明顯降低.在10 Pa氧壓下沉積的BZN薄膜展示齣介電可調特性為5％ (500 kV/cm).
채용고상반응법합성구유초록석립방결구적Bi1.5ZnNb1.507(BZN)도자파재,채용맥충격광침적법재Pt/SiO2/Si(100)기편상제비립방BZN박막.연구료침적양압적변화대박막적결정성능,미관형모이급개전성능적영향.결과표명:침적적BZN박막도정현출립방초록석단상결구,단시박막적취향수양압변화이변화.당침적양압위10Pa시,박막적(222)정면옹유최강적택우취향.수착양압적승고,BZN박막적개전상수명현강저.재10 Pa양압하침적적BZN박막전시출개전가조특성위5％ (500 kV/cm).
