Fe-N软磁薄膜的结构和性能
Fe-N연자박막적결구화성능
  • 万方数据
    中国科学A辑 중국과학A집
    SCIENCE IN CHINA (SERIES A)
    2002年 2期 132-140 ,共9页

    周剑平%李丹%顾有松%赵春生%常香荣%李福%乔利杰%田中卓%方光旦%宋庆山

    주검평%리단%고유송%조춘생%상향영%리복%교리걸%전중탁%방광단%송경산

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    用RF溅射制备厚度为200 nm的Fe-N薄膜在250℃, 12000 A/m磁场下真空热处理后,当N含量在5%～7%(原子百分数)范围内形成α′+α″相时,4πMS可达2.4 T,Hc＜80 A/m, 2～10 MHz下高频相对导磁率μr=1500,可满足针对10 Gb/in2存储密度的GMR/感应式复合读写磁头中写入磁头的需要. Fe-N系薄膜中α′相的形成机理和点阵常数与块状试样按Bain机理形成的α′相有明显的差别,得到了薄膜中α′相的a,c与Cα′N之间的线性关系式.
    용RF천사제비후도위200 nm적Fe-N박막재250℃, 12000 A/m자장하진공열처리후,당N함량재5%～7%(원자백분수)범위내형성α′+α″상시,4πMS가체2.4 T,Hc＜80 A/m, 2～10 MHz하고빈상대도자솔μr=1500,가만족침대10 Gb/in2존저밀도적GMR/감응식복합독사자두중사입자두적수요. Fe-N계박막중α′상적형성궤리화점진상수여괴상시양안Bain궤리형성적α′상유명현적차별,득도료박막중α′상적a,c여Cα′N지간적선성관계식.
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