真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2011年
3期
278-282
,共5页
姚宁%常立红%韩昌报%邢宏伟%葛亚爽%崔娜娜%王英俭%张兵临
姚寧%常立紅%韓昌報%邢宏偉%葛亞爽%崔娜娜%王英儉%張兵臨
요저%상립홍%한창보%형굉위%갈아상%최나나%왕영검%장병림
ITO薄膜%光电性能%表面粗糙度%磁控溅射%能量过滤磁控溅射
ITO薄膜%光電性能%錶麵粗糙度%磁控濺射%能量過濾磁控濺射
ITO박막%광전성능%표면조조도%자공천사%능량과려자공천사
采用磁控溅射(DMS)和能量过滤磁控溅射(EFDMS)技术在玻璃衬底上制备ITO透明导电薄膜.利用扫描电子显微镜、原子力显微镜、X射线衍射、紫外-可见分光光度计、四探针电阻仪、椭偏光谱仪等对薄膜的性能进行表征和分析,初步探讨了EFDMS技术的成膜机理.研究发现与DMS技术相比,EFDMS技术可有效降低薄膜的表面粗糙度,并且薄膜光电性能有一定改善.
採用磁控濺射(DMS)和能量過濾磁控濺射(EFDMS)技術在玻璃襯底上製備ITO透明導電薄膜.利用掃描電子顯微鏡、原子力顯微鏡、X射線衍射、紫外-可見分光光度計、四探針電阻儀、橢偏光譜儀等對薄膜的性能進行錶徵和分析,初步探討瞭EFDMS技術的成膜機理.研究髮現與DMS技術相比,EFDMS技術可有效降低薄膜的錶麵粗糙度,併且薄膜光電性能有一定改善.
채용자공천사(DMS)화능량과려자공천사(EFDMS)기술재파리츤저상제비ITO투명도전박막.이용소묘전자현미경、원자력현미경、X사선연사、자외-가견분광광도계、사탐침전조의、타편광보의등대박막적성능진행표정화분석,초보탐토료EFDMS기술적성막궤리.연구발현여DMS기술상비,EFDMS기술가유효강저박막적표면조조도,병차박막광전성능유일정개선.
