YBa2Cu3O7-x薄膜的制备与半导体性能的研究
YBa2Cu3O7-x박막적제비여반도체성능적연구
PREPARE YBa2Cu3O7-x FILM AND STUDY ITS SEMICONDUCT ING PERFORMANCE
  • 万方数据
    硅酸盐学报 규산염학보
    JOURNAL OF THE CHINESE CERAMIC SOCIETY
    2000年 6期 589-591 ,共3页

    刘景和%孙强%李建立%刘向东%谢彪%李国桢%黄宗坦%黄承彩%李丹%黄江平

    류경화%손강%리건립%류향동%사표%리국정%황종탄%황승채%리단%황강평

    半导体薄膜%过渡层%电阻温度系数 半導體薄膜%過渡層%電阻溫度繫數
    반도체박막%과도층%전조온도계수
    采用高温固相反应法制备φ60 mm YBa2Cu3O7-x(YBCO)靶材;通过直流磁控溅射后退火法制备具有不同过渡层(SiO2/Si, ZrO2/SiO2/Si)的薄膜.对于 Si为衬底的YBa2Cu3O7-x薄膜, 当x＞0.5时, 薄膜的导电性由超导态转向半导体态.进行了X射线衍射(XRD)分析, 电阻温度系数(RTC)和Hall系数测试 , 并进行Raman散射的微观分析实验, 认为该半导体薄膜可用作室温工作的红外测辐射热计(B olometer)灵敏元.
    채용고온고상반응법제비φ60 mm YBa2Cu3O7-x(YBCO)파재;통과직류자공천사후퇴화법제비구유불동과도층(SiO2/Si, ZrO2/SiO2/Si)적박막.대우 Si위츤저적YBa2Cu3O7-x박막, 당x＞0.5시, 박막적도전성유초도태전향반도체태.진행료X사선연사(XRD)분석, 전조온도계수(RTC)화Hall계수측시 , 병진행Raman산사적미관분석실험, 인위해반도체박막가용작실온공작적홍외측복사열계(B olometer)령민원.
    원문보기 원문다운로드 사이트로이동
저자의 최근 논문