山东轻工业学院学报（自然科学版）
山東輕工業學院學報（自然科學版）
산동경공업학원학보（자연과학판）
JOURNAL OF SHANDONG INSTITUTE OF LIGHT INDUSTRY(NATURAL SCIENCE EDITION)
2007年
1期
90-93
,共4页
高兴国%李健%脱英英%冷建材
高興國%李健%脫英英%冷建材
고흥국%리건%탈영영%랭건재
硅锗薄膜%退火%拉曼%X射线
硅鍺薄膜%退火%拉曼%X射線
규타박막%퇴화%랍만%X사선
绝缘体上硅锗是近年来受到人们广泛关注和研究的新型微电子材料,它以其独特的全介质隔离结构,可为研发新型的超高速、低功耗、抗辐射、高集成度硅基器件和芯片提供一种新的解决方案,有希望成为突破体硅器件的物理极限、在深亚微米超大规模集成电路芯片主流技术中获得广泛地应用.介绍了我们制备绝缘体上硅锗薄膜的方法和结果.
絕緣體上硅鍺是近年來受到人們廣汎關註和研究的新型微電子材料,它以其獨特的全介質隔離結構,可為研髮新型的超高速、低功耗、抗輻射、高集成度硅基器件和芯片提供一種新的解決方案,有希望成為突破體硅器件的物理極限、在深亞微米超大規模集成電路芯片主流技術中穫得廣汎地應用.介紹瞭我們製備絕緣體上硅鍺薄膜的方法和結果.
절연체상규타시근년래수도인문엄범관주화연구적신형미전자재료,타이기독특적전개질격리결구,가위연발신형적초고속、저공모、항복사、고집성도규기기건화심편제공일충신적해결방안,유희망성위돌파체규기건적물리겁한、재심아미미초대규모집성전로심편주류기술중획득엄범지응용.개소료아문제비절연체상규타박막적방법화결과.
