长春理工大学学报（自然科学版）
長春理工大學學報（自然科學版）
장춘리공대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF CHANGCHUN UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY(NATURAL SCIENCE EDITION)
2007年
4期
23-26
,共4页
杨凯%钟景昌%郝永芹%晏长岭%黄波
楊凱%鐘景昌%郝永芹%晏長嶺%黃波
양개%종경창%학영근%안장령%황파
垂直腔面发射激光器%激光器阵列%环形分布孔%氧化物限制技术
垂直腔麵髮射激光器%激光器陣列%環形分佈孔%氧化物限製技術
수직강면발사격광기%격광기진렬%배형분포공%양화물한제기술
采用一种新工艺制备垂直腔面发射激光器阵列(VCSELs)的方法.用环形分布孔取代以往的环形沟道作为氧化物限制技术的注入窗口,孔的分布是由出光孔、侧向氧化深度和湿法腐蚀深度等因素决定的.经分析设计后孔的分布以十个孔最佳,分布孔之间是天然的电流注入通道解决了电极过沟断线问题.由瞬态热传导方程对阵列单元器件的热相互作用进行了理论分析.阵列中单元器件的出光孔径为400μm,在室温下连续输出光功率为0.6w,峰值波长为808nm.
採用一種新工藝製備垂直腔麵髮射激光器陣列(VCSELs)的方法.用環形分佈孔取代以往的環形溝道作為氧化物限製技術的註入窗口,孔的分佈是由齣光孔、側嚮氧化深度和濕法腐蝕深度等因素決定的.經分析設計後孔的分佈以十箇孔最佳,分佈孔之間是天然的電流註入通道解決瞭電極過溝斷線問題.由瞬態熱傳導方程對陣列單元器件的熱相互作用進行瞭理論分析.陣列中單元器件的齣光孔徑為400μm,在室溫下連續輸齣光功率為0.6w,峰值波長為808nm.
채용일충신공예제비수직강면발사격광기진렬(VCSELs)적방법.용배형분포공취대이왕적배형구도작위양화물한제기술적주입창구,공적분포시유출광공、측향양화심도화습법부식심도등인소결정적.경분석설계후공적분포이십개공최가,분포공지간시천연적전류주입통도해결료전겁과구단선문제.유순태열전도방정대진렬단원기건적열상호작용진행료이론분석.진렬중단원기건적출광공경위400μm,재실온하련속수출광공솔위0.6w,봉치파장위808nm.
