电子学报
電子學報
전자학보
ACTA ELECTRONICA SINICA
2008年
2期
255-260
,共6页
隆志力%吴运新%韩雷%钟掘
隆誌力%吳運新%韓雷%鐘掘
륭지력%오운신%한뢰%종굴
多模态振动%换能系统%有限元分析%热超声倒装键合工艺
多模態振動%換能繫統%有限元分析%熱超聲倒裝鍵閤工藝
다모태진동%환능계통%유한원분석%열초성도장건합공예
研究了热超声倒装键合设备的核心执行机构--换能系统的动力学特性.利用激光多谱勒测振仪测试系统末端各方向的振动速度,发现系统以轴向振动为主,但受到其他非轴向振动的干扰.非轴向振动对芯片造成芯片倾斜、键合强度降低等负面影响.采用有限元方法对换能系统建模,仿真计算发现换能系统振动是各方向振动的耦合结果,且工作模态附近存在多种干扰模态.最后分析了系统多模态产生的根源并提出抑制方法.
研究瞭熱超聲倒裝鍵閤設備的覈心執行機構--換能繫統的動力學特性.利用激光多譜勒測振儀測試繫統末耑各方嚮的振動速度,髮現繫統以軸嚮振動為主,但受到其他非軸嚮振動的榦擾.非軸嚮振動對芯片造成芯片傾斜、鍵閤彊度降低等負麵影響.採用有限元方法對換能繫統建模,倣真計算髮現換能繫統振動是各方嚮振動的耦閤結果,且工作模態附近存在多種榦擾模態.最後分析瞭繫統多模態產生的根源併提齣抑製方法.
연구료열초성도장건합설비적핵심집행궤구--환능계통적동역학특성.이용격광다보륵측진의측시계통말단각방향적진동속도,발현계통이축향진동위주,단수도기타비축향진동적간우.비축향진동대심편조성심편경사、건합강도강저등부면영향.채용유한원방법대환능계통건모,방진계산발현환능계통진동시각방향진동적우합결과,차공작모태부근존재다충간우모태.최후분석료계통다모태산생적근원병제출억제방법.
