材料导报
材料導報
재료도보
MATERIALS REVIEW
2008年
z1期
332-334
,共3页
低介电常数%介孔氧化硅薄膜%MIM结构
低介電常數%介孔氧化硅薄膜%MIM結構
저개전상수%개공양화규박막%MIM결구
利用溶胶-凝胶技术制备了介孔氧化硅薄膜.采用MIM结构,通过平行板电容器法测量了介孔氧化硅薄膜的介电常数,结果表明采用表面修饰的方法可以在保持较低介电常数(k=2.25)的前提下极大地降低薄膜的漏电流,提高薄膜的环境稳定性能.通过对富氏红外光谱的分析,讨论了薄膜的键结构与介电性能之间的关系,结果表明去除介孔氧化硅薄膜中的OH基团是提高薄膜介电性能的关键.
利用溶膠-凝膠技術製備瞭介孔氧化硅薄膜.採用MIM結構,通過平行闆電容器法測量瞭介孔氧化硅薄膜的介電常數,結果錶明採用錶麵脩飾的方法可以在保持較低介電常數(k=2.25)的前提下極大地降低薄膜的漏電流,提高薄膜的環境穩定性能.通過對富氏紅外光譜的分析,討論瞭薄膜的鍵結構與介電性能之間的關繫,結果錶明去除介孔氧化硅薄膜中的OH基糰是提高薄膜介電性能的關鍵.
이용용효-응효기술제비료개공양화규박막.채용MIM결구,통과평행판전용기법측량료개공양화규박막적개전상수,결과표명채용표면수식적방법가이재보지교저개전상수(k=2.25)적전제하겁대지강저박막적루전류,제고박막적배경은정성능.통과대부씨홍외광보적분석,토론료박막적건결구여개전성능지간적관계,결과표명거제개공양화규박막중적OH기단시제고박막개전성능적관건.
