电镀与涂饰
電鍍與塗飾
전도여도식
ELECTROPLATING & FINISHING
2009年
9期
35-37,40
,共4页
铝锰合金%氧化铟锡%薄膜%直流反应磁控溅射
鋁錳閤金%氧化銦錫%薄膜%直流反應磁控濺射
려맹합금%양화인석%박막%직류반응자공천사
采用直流反应磁控溅射在AlMn合金表面制备出ITO薄膜.采用扫描电镜、X射线衍射、紫外-可见光测试、磨损试验、盐雾试验、薄膜厚度测量和显微硬度试验等方法对制备的ITO薄膜表面进行检测分析.结果表明:在溅射功率210 W、衬底温度120℃、溅射时间20 min的条件下,AlMn合金表面的ITO薄膜晶粒尺寸细小,与基底结合良好,AlMn合金表面光泽度好,强度、硬度高,并具有一定的耐磨、耐蚀性能.
採用直流反應磁控濺射在AlMn閤金錶麵製備齣ITO薄膜.採用掃描電鏡、X射線衍射、紫外-可見光測試、磨損試驗、鹽霧試驗、薄膜厚度測量和顯微硬度試驗等方法對製備的ITO薄膜錶麵進行檢測分析.結果錶明:在濺射功率210 W、襯底溫度120℃、濺射時間20 min的條件下,AlMn閤金錶麵的ITO薄膜晶粒呎吋細小,與基底結閤良好,AlMn閤金錶麵光澤度好,彊度、硬度高,併具有一定的耐磨、耐蝕性能.
채용직류반응자공천사재AlMn합금표면제비출ITO박막.채용소묘전경、X사선연사、자외-가견광측시、마손시험、염무시험、박막후도측량화현미경도시험등방법대제비적ITO박막표면진행검측분석.결과표명:재천사공솔210 W、츤저온도120℃、천사시간20 min적조건하,AlMn합금표면적ITO박막정립척촌세소,여기저결합량호,AlMn합금표면광택도호,강도、경도고,병구유일정적내마、내식성능.
