真空
真空
진공
VACUUM
2010年
5期
49-52
,共4页
氟化类金刚石薄膜%离子体增强化学气相沉积%绝缘电阻%介电常数
氟化類金剛石薄膜%離子體增彊化學氣相沉積%絕緣電阻%介電常數
불화류금강석박막%리자체증강화학기상침적%절연전조%개전상수
采用射频等离子体增强化学气相沉积法制备了氟化类金刚石薄膜.利用俄歇电子能谱、绝缘电阻测试仪、耐压测试仪和QS电桥对样品组分和介电性能进行了表征、分析.结果表明:薄膜的介电常数εr在2.07～2.65之间,绝缘电阻在245 MΩ左右,击穿场强在2.1 MV/cm以上,它们与膜内F的含量密切相关.
採用射頻等離子體增彊化學氣相沉積法製備瞭氟化類金剛石薄膜.利用俄歇電子能譜、絕緣電阻測試儀、耐壓測試儀和QS電橋對樣品組分和介電性能進行瞭錶徵、分析.結果錶明:薄膜的介電常數εr在2.07～2.65之間,絕緣電阻在245 MΩ左右,擊穿場彊在2.1 MV/cm以上,它們與膜內F的含量密切相關.
채용사빈등리자체증강화학기상침적법제비료불화류금강석박막.이용아헐전자능보、절연전조측시의、내압측시의화QS전교대양품조분화개전성능진행료표정、분석.결과표명:박막적개전상수εr재2.07～2.65지간,절연전조재245 MΩ좌우,격천장강재2.1 MV/cm이상,타문여막내F적함량밀절상관.
