现代制造工程
現代製造工程
현대제조공정
MODERN MANUFACTURING ENGINEERING
2010年
12期
133-136
,共4页
压电陶瓷微位移器件%柔性铰链%线切割%精密定位
壓電陶瓷微位移器件%柔性鉸鏈%線切割%精密定位
압전도자미위이기건%유성교련%선절할%정밀정위
设计了一种超精密压电式微位移机构,此机构以压电陶瓷作为驱动器,以对称杠杆式柔性铰链放大机构作为导向机构,弥补压电陶瓷位移行程过小的缺点.机构输出位移由原来的11.6μm放大到100μm,能够满足许多长行程、超精定位运动的需要.对此微位移机构进行定位精度测试,并将它作为位移补偿装置安装于精密滚珠丝杠副驱动的机床上,机床定位精度由原来的1μm上升到0.01μm,定位精度得到显著提高.
設計瞭一種超精密壓電式微位移機構,此機構以壓電陶瓷作為驅動器,以對稱槓桿式柔性鉸鏈放大機構作為導嚮機構,瀰補壓電陶瓷位移行程過小的缺點.機構輸齣位移由原來的11.6μm放大到100μm,能夠滿足許多長行程、超精定位運動的需要.對此微位移機構進行定位精度測試,併將它作為位移補償裝置安裝于精密滾珠絲槓副驅動的機床上,機床定位精度由原來的1μm上升到0.01μm,定位精度得到顯著提高.
설계료일충초정밀압전식미위이궤구,차궤구이압전도자작위구동기,이대칭강간식유성교련방대궤구작위도향궤구,미보압전도자위이행정과소적결점.궤구수출위이유원래적11.6μm방대도100μm,능구만족허다장행정、초정정위운동적수요.대차미위이궤구진행정위정도측시,병장타작위위이보상장치안장우정밀곤주사강부구동적궤상상,궤상정위정도유원래적1μm상승도0.01μm,정위정도득도현저제고.
