光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2011年
8期
1810-1815
,共6页
刘小涵%冯晓国%赵晶丽%高劲松%张红胜%程志峰
劉小涵%馮曉國%趙晶麗%高勁鬆%張紅勝%程誌峰
류소함%풍효국%조정려%고경송%장홍성%정지봉
光刻胶%离心式涂胶%流体力学%胶膜厚度%胶液粘度%转速
光刻膠%離心式塗膠%流體力學%膠膜厚度%膠液粘度%轉速
광각효%리심식도효%류체역학%효막후도%효액점도%전속
研究了离心式涂胶工艺理论以实现在凹球面内表面涂布厚度均匀的光刻胶.首先,讨论了影响膜厚均匀性的主要因素;接着,用流体力学理论分析了离心式开口向下球面涂胶过程中胶液的受力流动状态,建立了出胶膜厚度与离心机转速、胶液粘度、旋涂时间等参数关系的数学模型;最后,为了验证理论的正确性,在口径(c)p120 mm,凹球面半径300 mm,矢高12.5 mm的K9玻璃试验件内表面开展涂胶工艺实验.测试分析结果表明,该理论分析模型与实际情况相符,根据理论分析采用主轴与工件旋转轴偏心的装夹方法,在整个球面内表面可以得到厚度均匀的胶膜.当光刻胶黏度为1.1～1.9 Pa,主轴转速为3 000～6 000 r/min时,可在凹球面上涂布厚度为0.5～1 μm的均匀胶膜.
研究瞭離心式塗膠工藝理論以實現在凹毬麵內錶麵塗佈厚度均勻的光刻膠.首先,討論瞭影響膜厚均勻性的主要因素;接著,用流體力學理論分析瞭離心式開口嚮下毬麵塗膠過程中膠液的受力流動狀態,建立瞭齣膠膜厚度與離心機轉速、膠液粘度、鏇塗時間等參數關繫的數學模型;最後,為瞭驗證理論的正確性,在口徑(c)p120 mm,凹毬麵半徑300 mm,矢高12.5 mm的K9玻璃試驗件內錶麵開展塗膠工藝實驗.測試分析結果錶明,該理論分析模型與實際情況相符,根據理論分析採用主軸與工件鏇轉軸偏心的裝夾方法,在整箇毬麵內錶麵可以得到厚度均勻的膠膜.噹光刻膠黏度為1.1～1.9 Pa,主軸轉速為3 000～6 000 r/min時,可在凹毬麵上塗佈厚度為0.5～1 μm的均勻膠膜.
연구료리심식도효공예이론이실현재요구면내표면도포후도균균적광각효.수선,토론료영향막후균균성적주요인소;접착,용류체역학이론분석료리심식개구향하구면도효과정중효액적수력류동상태,건립료출효막후도여리심궤전속、효액점도、선도시간등삼수관계적수학모형;최후,위료험증이론적정학성,재구경(c)p120 mm,요구면반경300 mm,시고12.5 mm적K9파리시험건내표면개전도효공예실험.측시분석결과표명,해이론분석모형여실제정황상부,근거이론분석채용주축여공건선전축편심적장협방법,재정개구면내표면가이득도후도균균적효막.당광각효점도위1.1～1.9 Pa,주축전속위3 000～6 000 r/min시,가재요구면상도포후도위0.5～1 μm적균균효막.
