光电工程
光電工程
광전공정
OPTO-ELECTRONIC ENGINEERING
2011年
12期
75-80,84
,共7页
金钊%李锦胜%康仁科%张继友%王永刚%孟晓辉
金釗%李錦勝%康仁科%張繼友%王永剛%孟曉輝
금쇠%리금성%강인과%장계우%왕영강%맹효휘
硅:软磨料%化学机械磨削%表面粗糙度%亚表面损伤
硅:軟磨料%化學機械磨削%錶麵粗糙度%亞錶麵損傷
규:연마료%화학궤계마삭%표면조조도%아표면손상
在分析软磨料砂轮化学机械磨削(CMG)技术的基础上,开发研制了主料分别为Fe2O3和MgO的杯型软磨料砂轮.利用开发的两种软磨料砂轮对中150 mm的单晶硅光学表面进行纳米级精度的对比磨削加工,优选出最佳磨削参数,将CMG的结果与金刚石砂轮磨削结果、化学机械抛光(CMP)结果进行对比研究,并对加工后工件的表面与亚表面损伤进行检测分析.结果表明,MgO软磨料砂轮具有十分稳定的磨削性能,能够获得较好的形状精度和表面亚表面质量,采用三维表面轮廓仪和原子力显微镜测量CMG后的工件表面分别得到0.568 nm RMS和0.554nm Rq的表面粗糙度,达到了CMP的加工效果,角度抛光法显示CMG后的工件亚表面损伤深度接近0.
在分析軟磨料砂輪化學機械磨削(CMG)技術的基礎上,開髮研製瞭主料分彆為Fe2O3和MgO的杯型軟磨料砂輪.利用開髮的兩種軟磨料砂輪對中150 mm的單晶硅光學錶麵進行納米級精度的對比磨削加工,優選齣最佳磨削參數,將CMG的結果與金剛石砂輪磨削結果、化學機械拋光(CMP)結果進行對比研究,併對加工後工件的錶麵與亞錶麵損傷進行檢測分析.結果錶明,MgO軟磨料砂輪具有十分穩定的磨削性能,能夠穫得較好的形狀精度和錶麵亞錶麵質量,採用三維錶麵輪廓儀和原子力顯微鏡測量CMG後的工件錶麵分彆得到0.568 nm RMS和0.554nm Rq的錶麵粗糙度,達到瞭CMP的加工效果,角度拋光法顯示CMG後的工件亞錶麵損傷深度接近0.
재분석연마료사륜화학궤계마삭(CMG)기술적기출상,개발연제료주료분별위Fe2O3화MgO적배형연마료사륜.이용개발적량충연마료사륜대중150 mm적단정규광학표면진행납미급정도적대비마삭가공,우선출최가마삭삼수,장CMG적결과여금강석사륜마삭결과、화학궤계포광(CMP)결과진행대비연구,병대가공후공건적표면여아표면손상진행검측분석.결과표명,MgO연마료사륜구유십분은정적마삭성능,능구획득교호적형상정도화표면아표면질량,채용삼유표면륜곽의화원자력현미경측량CMG후적공건표면분별득도0.568 nm RMS화0.554nm Rq적표면조조도,체도료CMP적가공효과,각도포광법현시CMG후적공건아표면손상심도접근0.
