CAJ | 학술논문

以正硅酸乙酯(TEOS)、硝酸铁和钼酸铵为原料,用溶胶-凝胶法制备了Fe-Si-O和Mo-O溶胶,通过浸渍-提拉法,分别制得了Fe-Si-O薄膜(以载玻片为基板)和Mo-Fe-Si-O薄膜(以多孔α-Al2O3为基质材料). 考察了制备工艺条件对Fe-Si-O成膜的影响,采用DTA、XRD和SEM等技术研究了热处理条件对Mo-Fe-Si-O薄膜结构的影响. 结果表明:溶胶粘度、衬底材质、浸渍时间、提拉速度等是影响Fe-Si-O成膜的主要因素;溶胶-凝胶法制备的Mo-Fe-Si-O/α-Al2O3无机复合膜热处理温度达到650℃以上, 即能形成比较明显的结晶相,薄膜经高温焙烧(700℃)-冷却反复5次,膜表面没有出现剥离和开裂现象.
이정규산을지(TEOS)、초산철화목산안위원료,용용효-응효법제비료Fe-Si-O화Mo-O용효,통과침지-제랍법,분별제득료Fe-Si-O박막(이재파편위기판)화Mo-Fe-Si-O박막(이다공α-Al2O3위기질재료). 고찰료제비공예조건대Fe-Si-O성막적영향,채용DTA、XRD화SEM등기술연구료열처리조건대Mo-Fe-Si-O박막결구적영향. 결과표명:용효점도、츤저재질、침지시간、제랍속도등시영향Fe-Si-O성막적주요인소;용효-응효법제비적Mo-Fe-Si-O/α-Al2O3무궤복합막열처리온도체도650℃이상, 즉능형성비교명현적결정상,박막경고온배소(700℃)-냉각반복5차,막표면몰유출현박리화개렬현상.