华南师范大学学报(自然科学版)
華南師範大學學報(自然科學版)
화남사범대학학보(자연과학판)
JOURNAL OF SOUTH CHINA NORMAL UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE EDITION)
2004年
2期
72-76
,共5页
赵文锋%陈俊芳%吴先球%熊予莹%符斯列%樊双莉
趙文鋒%陳俊芳%吳先毬%熊予瑩%符斯列%樊雙莉
조문봉%진준방%오선구%웅여형%부사렬%번쌍리
ICP%氮化硅%纳米粉
ICP%氮化硅%納米粉
ICP%담화규%납미분
采用ICP等离子体化学气相沉积技术,用硅烷和氮气为反应气体合成氮化硅纳米粉体.利用朗缪尔探针诊断了反应室内等离子体参数,得到不同位置、不同功率和不同气压下等离子体密度的变化规律,等离子体密度随着功率的增大而增大,随着气压的升高而减小,由于离子鞘层的存在,提供了局部等离子体密度稳定的区域.利用傅立叶红外光谱仪分析了氮化硅纳米粉体红外光谱和键态结构的特性,结果表明:氮化硅的表面特性和纳米材料的表面效应导致富氧层的存在.
採用ICP等離子體化學氣相沉積技術,用硅烷和氮氣為反應氣體閤成氮化硅納米粉體.利用朗繆爾探針診斷瞭反應室內等離子體參數,得到不同位置、不同功率和不同氣壓下等離子體密度的變化規律,等離子體密度隨著功率的增大而增大,隨著氣壓的升高而減小,由于離子鞘層的存在,提供瞭跼部等離子體密度穩定的區域.利用傅立葉紅外光譜儀分析瞭氮化硅納米粉體紅外光譜和鍵態結構的特性,結果錶明:氮化硅的錶麵特性和納米材料的錶麵效應導緻富氧層的存在.
채용ICP등리자체화학기상침적기술,용규완화담기위반응기체합성담화규납미분체.이용랑무이탐침진단료반응실내등리자체삼수,득도불동위치、불동공솔화불동기압하등리자체밀도적변화규률,등리자체밀도수착공솔적증대이증대,수착기압적승고이감소,유우리자초층적존재,제공료국부등리자체밀도은정적구역.이용부립협홍외광보의분석료담화규납미분체홍외광보화건태결구적특성,결과표명:담화규적표면특성화납미재료적표면효응도치부양층적존재.
