金刚石与磨料磨具工程
金剛石與磨料磨具工程
금강석여마료마구공정
DIAMOND & ABRASIVES ENGINNERING
2010年
5期
1-5,10
,共6页
谢晋%谭廷武%郑佳华%蒋均海%黄少林
謝晉%譚廷武%鄭佳華%蔣均海%黃少林
사진%담정무%정가화%장균해%황소림
金刚石砂轮%V形尖端%微细修整%微沟槽加工
金剛石砂輪%V形尖耑%微細脩整%微溝槽加工
금강석사륜%V형첨단%미세수정%미구조가공
针对金刚石砂轮V形尖端的微细修整困难的问题,开发出一种对磨成型的V形尖端修整技术.在数控修整中,砂轮作V形的直线插补运动与修整工具对磨,逐渐被修整成V形尖端.本实验中修整工具分别是#600和#180绿碳化硅(GC)油石,砂轮分别为SD 400和SD 600金刚石砂轮.实验结果表明,较细粒度的修整工具不仅可以将砂轮V形尖端修整出更小的圆弧半径,而且也能够将微小磨粒修锐得更锋利,从而使加工的单晶硅微沟槽形状更加整齐.此外,采用修整后的圆弧半径小于20 μm的SD 600金刚石砂轮V形尖端可以实现光纤石英微阵列沟槽的微细加工,也可以在SiC陶瓷和WC合金基板上加工出微锥塔阵列空间的功能表面.因此,数控对磨在位修整的工艺可以用于金刚石砂轮V形尖端的微细修整,实现硬脆性基板的微细磨削加工.
針對金剛石砂輪V形尖耑的微細脩整睏難的問題,開髮齣一種對磨成型的V形尖耑脩整技術.在數控脩整中,砂輪作V形的直線插補運動與脩整工具對磨,逐漸被脩整成V形尖耑.本實驗中脩整工具分彆是#600和#180綠碳化硅(GC)油石,砂輪分彆為SD 400和SD 600金剛石砂輪.實驗結果錶明,較細粒度的脩整工具不僅可以將砂輪V形尖耑脩整齣更小的圓弧半徑,而且也能夠將微小磨粒脩銳得更鋒利,從而使加工的單晶硅微溝槽形狀更加整齊.此外,採用脩整後的圓弧半徑小于20 μm的SD 600金剛石砂輪V形尖耑可以實現光纖石英微陣列溝槽的微細加工,也可以在SiC陶瓷和WC閤金基闆上加工齣微錐塔陣列空間的功能錶麵.因此,數控對磨在位脩整的工藝可以用于金剛石砂輪V形尖耑的微細脩整,實現硬脆性基闆的微細磨削加工.
침대금강석사륜V형첨단적미세수정곤난적문제,개발출일충대마성형적V형첨단수정기술.재수공수정중,사륜작V형적직선삽보운동여수정공구대마,축점피수정성V형첨단.본실험중수정공구분별시#600화#180록탄화규(GC)유석,사륜분별위SD 400화SD 600금강석사륜.실험결과표명,교세립도적수정공구불부가이장사륜V형첨단수정출경소적원호반경,이차야능구장미소마립수예득경봉리,종이사가공적단정규미구조형상경가정제.차외,채용수정후적원호반경소우20 μm적SD 600금강석사륜V형첨단가이실현광섬석영미진렬구조적미세가공,야가이재SiC도자화WC합금기판상가공출미추탑진렬공간적공능표면.인차,수공대마재위수정적공예가이용우금강석사륜V형첨단적미세수정,실현경취성기판적미세마삭가공.
