无机盐工业
無機鹽工業
무궤염공업
INORGANIC CHEMICALS INDUSTRY
2010年
12期
57-59
,共3页
唐安江%韦德举%高珊珊%关星宇
唐安江%韋德舉%高珊珊%關星宇
당안강%위덕거%고산산%관성우
四氟化硅%气相色谱仪%傅里叶红外光谱仪%质谱仪%微波波谱仪
四氟化硅%氣相色譜儀%傅裏葉紅外光譜儀%質譜儀%微波波譜儀
사불화규%기상색보의%부리협홍외광보의%질보의%미파파보의
介绍了四氟化硅气体中几类杂质的检测方法,主要包括气相色谱法、傅里叶变换红外光谱法、质谱法和微波波谱法.用气相色谱仪可以检测出四氟化硅中气体中C1~C4碳氢化合物;用高分辨率傅里叶变换红外光谱仪可以检测出SiF3OH,HF,SiF3H,SiF2H2,SiH3F,CO2,CO等气体杂质;用微波波谱仪可以检测出四氟化硅中CHF3,CH2F2,CH3F等气体杂质;用质谱仪可以检测出四氟化硅中SiF3H,SiF2H2,SiF3OSiF3等气体杂质.通过对比得出每种检测方法的优点和缺点.
介紹瞭四氟化硅氣體中幾類雜質的檢測方法,主要包括氣相色譜法、傅裏葉變換紅外光譜法、質譜法和微波波譜法.用氣相色譜儀可以檢測齣四氟化硅中氣體中C1~C4碳氫化閤物;用高分辨率傅裏葉變換紅外光譜儀可以檢測齣SiF3OH,HF,SiF3H,SiF2H2,SiH3F,CO2,CO等氣體雜質;用微波波譜儀可以檢測齣四氟化硅中CHF3,CH2F2,CH3F等氣體雜質;用質譜儀可以檢測齣四氟化硅中SiF3H,SiF2H2,SiF3OSiF3等氣體雜質.通過對比得齣每種檢測方法的優點和缺點.
개소료사불화규기체중궤류잡질적검측방법,주요포괄기상색보법、부리협변환홍외광보법、질보법화미파파보법.용기상색보의가이검측출사불화규중기체중C1~C4탄경화합물;용고분변솔부리협변환홍외광보의가이검측출SiF3OH,HF,SiF3H,SiF2H2,SiH3F,CO2,CO등기체잡질;용미파파보의가이검측출사불화규중CHF3,CH2F2,CH3F등기체잡질;용질보의가이검측출사불화규중SiF3H,SiF2H2,SiF3OSiF3등기체잡질.통과대비득출매충검측방법적우점화결점.
