中国激光
中國激光
중국격광
CHINESE JOURNAL OF LASERS
1999年
6期
493-496
,共4页
赖珍荃%沈军%杜保旗%王珏%陈玲燕
賴珍荃%瀋軍%杜保旂%王玨%陳玲燕
뢰진전%침군%두보기%왕각%진령연
铝衰减膜%表面氧化%透过率
鋁衰減膜%錶麵氧化%透過率
려쇠감막%표면양화%투과솔
对用不同方法制备的软X光激光实验用的Al衰减膜样品,用Auger电子能谱(AES)结合氩离子束刻蚀进行了组分的表面和深度分布分析,结果表明表面氧化层主要由Al2O3组成,氧化达到饱和时的氧化层厚度≈7.5 nm.由于在软X光波段内,氧的吸收系数比铝大一个多数量级,这一氧化层对软X光透过率的影响甚大.将AES测试结果作为参数,使用公式I=I0.exp[-μ(E).(ρd)]对X光透过强度进行修正.同步辐射软X光对样品透过率的直接测量表明,对于透过率大于20%的Al膜,直接测量结果与按修正公式计算的结果在最大偏差11%范围内符合.
對用不同方法製備的軟X光激光實驗用的Al衰減膜樣品,用Auger電子能譜(AES)結閤氬離子束刻蝕進行瞭組分的錶麵和深度分佈分析,結果錶明錶麵氧化層主要由Al2O3組成,氧化達到飽和時的氧化層厚度≈7.5 nm.由于在軟X光波段內,氧的吸收繫數比鋁大一箇多數量級,這一氧化層對軟X光透過率的影響甚大.將AES測試結果作為參數,使用公式I=I0.exp[-μ(E).(ρd)]對X光透過彊度進行脩正.同步輻射軟X光對樣品透過率的直接測量錶明,對于透過率大于20%的Al膜,直接測量結果與按脩正公式計算的結果在最大偏差11%範圍內符閤.
대용불동방법제비적연X광격광실험용적Al쇠감막양품,용Auger전자능보(AES)결합아리자속각식진행료조분적표면화심도분포분석,결과표명표면양화층주요유Al2O3조성,양화체도포화시적양화층후도≈7.5 nm.유우재연X광파단내,양적흡수계수비려대일개다수량급,저일양화층대연X광투과솔적영향심대.장AES측시결과작위삼수,사용공식I=I0.exp[-μ(E).(ρd)]대X광투과강도진행수정.동보복사연X광대양품투과솔적직접측량표명,대우투과솔대우20%적Al막,직접측량결과여안수정공식계산적결과재최대편차11%범위내부합.
