喷雾热解法制备SnO2:Sb透明导电薄膜
분무열해법제비SnO2:Sb투명도전박막
TRANSPARENT CONDUCTIVE SnO2 : Sb THIN FILM PREPARED BY SPRAY PYROLYSIS METHOD
  • 万方数据
    硅酸盐学报 규산염학보
    JOURNAL OF THE CHINESE CERAMIC SOCIETY
    2003年 11期 1063-1068 ,共6页

    张聚宝%侯春%翁文剑%程逵%杜丕一%沈鸽%汪建勋%韩高荣

    장취보%후춘%옹문검%정규%두비일%침합%왕건훈%한고영

    透明导电薄膜%掺锑二氧化锡%喷雾热解%光电性能 透明導電薄膜%摻銻二氧化錫%噴霧熱解%光電性能
    투명도전박막%참제이양화석%분무열해%광전성능
    采用喷雾热解技术制备出了光电性能优良的SnO2:Sb透明导电薄膜,对薄膜的结构特性、光电性质以及制备条件对薄膜性能的影响进行了研究.并进一步研究了喷雾热解法中薄膜的形成过程和工艺参数对薄膜微观结构和性能的影响.实验结果表明:在Sb掺杂量为11%(摩尔分数)和基板温度为500℃的条件下,SnO2:Sb薄膜具有最佳的光电性能,平均可见光透过率为82%,方块电阻达13.4 Ω/□,电阻率为4.9×10-4Ω@cm.
    채용분무열해기술제비출료광전성능우량적SnO2:Sb투명도전박막,대박막적결구특성、광전성질이급제비조건대박막성능적영향진행료연구.병진일보연구료분무열해법중박막적형성과정화공예삼수대박막미관결구화성능적영향.실험결과표명:재Sb참잡량위11%(마이분수)화기판온도위500℃적조건하,SnO2:Sb박막구유최가적광전성능,평균가견광투과솔위82%,방괴전조체13.4 Ω/□,전조솔위4.9×10-4Ω@cm.
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