贵金属
貴金屬
귀금속
PRECIOUS METALS
2004年
4期
40-44
,共5页
金属材料%离子束溅射技术%PtRu纳米合金%载体薄膜材料%结构表征
金屬材料%離子束濺射技術%PtRu納米閤金%載體薄膜材料%結構錶徵
금속재료%리자속천사기술%PtRu납미합금%재체박막재료%결구표정
采用离子束溅射技术,Pt和Ru双靶材通过制备工艺条件的设计,制备出含单质Pt、单质Ru及PtRu合金的纳米载体薄膜材料.采用X射线衍射、透射电镜、X射线光电子能谱等分析手段表征了薄膜材料的结构,验证了离子束溅射技术制备Pt合金薄膜的可操作性,并对Pt合金成膜规律进行了初步探索.
採用離子束濺射技術,Pt和Ru雙靶材通過製備工藝條件的設計,製備齣含單質Pt、單質Ru及PtRu閤金的納米載體薄膜材料.採用X射線衍射、透射電鏡、X射線光電子能譜等分析手段錶徵瞭薄膜材料的結構,驗證瞭離子束濺射技術製備Pt閤金薄膜的可操作性,併對Pt閤金成膜規律進行瞭初步探索.
채용리자속천사기술,Pt화Ru쌍파재통과제비공예조건적설계,제비출함단질Pt、단질Ru급PtRu합금적납미재체박막재료.채용X사선연사、투사전경、X사선광전자능보등분석수단표정료박막재료적결구,험증료리자속천사기술제비Pt합금박막적가조작성,병대Pt합금성막규률진행료초보탐색.
