硬质合金
硬質閤金
경질합금
CEMENTED CARBIDE
2005年
4期
208-211
,共4页
HFCVD%金刚石薄膜%形貌%织构%附着力
HFCVD%金剛石薄膜%形貌%織構%附著力
HFCVD%금강석박막%형모%직구%부착력
以CH4和H2为反应气体,用热丝化学气相沉积(HFCVD)法在YG6(WC-6%Co)硬质合金基体上沉积了具有(110)和(100)织构的金刚石薄膜.用扫描电子显微镜、X射线衍射仪、压痕仪对样品进行了分析.结果表明:金刚石薄膜由约1μm大小立方金刚石晶粒组成,其形核密度大于2×108/m2;(110)和(100)织构系数分别为0.59和0.033,压痕荷载为588N时附着性能良好.
以CH4和H2為反應氣體,用熱絲化學氣相沉積(HFCVD)法在YG6(WC-6%Co)硬質閤金基體上沉積瞭具有(110)和(100)織構的金剛石薄膜.用掃描電子顯微鏡、X射線衍射儀、壓痕儀對樣品進行瞭分析.結果錶明:金剛石薄膜由約1μm大小立方金剛石晶粒組成,其形覈密度大于2×108/m2;(110)和(100)織構繫數分彆為0.59和0.033,壓痕荷載為588N時附著性能良好.
이CH4화H2위반응기체,용열사화학기상침적(HFCVD)법재YG6(WC-6%Co)경질합금기체상침적료구유(110)화(100)직구적금강석박막.용소묘전자현미경、X사선연사의、압흔의대양품진행료분석.결과표명:금강석박막유약1μm대소립방금강석정립조성,기형핵밀도대우2×108/m2;(110)화(100)직구계수분별위0.59화0.033,압흔하재위588N시부착성능량호.
