掺锑Zn-Sn-O透明导电膜的制备及特性
참제Zn-Sn-O투명도전막적제비급특성
THE PREPARATION AND PROPERTIES FOR ANTIMONY-DOPED Zn-Sn-O FILMS
  • 万方数据
    太阳能学报 태양능학보
    ACTA ENERGIAE SOLARIS SINICA
    2005年 5期 626-630 ,共5页

    黄树来%马瑾%盖凌云%姜永超%计峰%马洪磊%余旭浒

    황수래%마근%개릉운%강영초%계봉%마홍뢰%여욱호

    磁控溅射%Zn-Sn-O:Sb膜%光电性质 磁控濺射%Zn-Sn-O:Sb膜%光電性質
    자공천사%Zn-Sn-O:Sb막%광전성질
    采用射频磁控溅射技术在7059玻璃衬底上低温制备出具有多晶结构的掺锑锌-锡-氧(Zn-Sn-O:Sb)透明导电膜.研究了制备薄膜的结构、成分、电学和光学特性以及退火温度对薄膜性能的影响.Zn-Sn-O:Sb透明导电膜的电阻率为1.5×10-2Ω·cm,相应载流子浓度和霍尔迁移率分别为8.0×1019cm-3,5.8cm2·v-1·s-1.薄膜的可见光平均透过率达到了85%.
    채용사빈자공천사기술재7059파리츤저상저온제비출구유다정결구적참제자-석-양(Zn-Sn-O:Sb)투명도전막.연구료제비박막적결구、성분、전학화광학특성이급퇴화온도대박막성능적영향.Zn-Sn-O:Sb투명도전막적전조솔위1.5×10-2Ω·cm,상응재류자농도화곽이천이솔분별위8.0×1019cm-3,5.8cm2·v-1·s-1.박막적가견광평균투과솔체도료85%.
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