光电工程
光電工程
광전공정
OPTO-ELECTRONIC ENGINEERING
2005年
12期
25-29,38
,共6页
石莎莉%陈大鹏%欧毅%叶甜春
石莎莉%陳大鵬%歐毅%葉甜春
석사리%진대붕%구의%협첨춘
MEMS%FPA%有限元%悬臂梁
MEMS%FPA%有限元%懸臂樑
MEMS%FPA%유한원%현비량
提出了一种薄膜式镂空双材料单层膜微悬臂梁结构的非制冷红外焦平面成像阵列(FPA,Focal Plate Array).通过测量热膨胀系数相差较大的两种材料构成的悬臂梁受到红外辐射后的热形变分布,得到红外源的温度分布,从而实现在基于光力效应的光学读出系统中成像的目的.利用解析法建立了单层膜悬臂梁结构的热机械模型,用有限元软件对其优化参数下的热学性能和耦合特性进行了有限元的计算机模拟与分析.模拟热机械灵敏度结果为2.49×10-4 deg/K,与热机械模型预测结果基本一致,为FPA的结构设计提供了有效的参数依据.
提齣瞭一種薄膜式鏤空雙材料單層膜微懸臂樑結構的非製冷紅外焦平麵成像陣列(FPA,Focal Plate Array).通過測量熱膨脹繫數相差較大的兩種材料構成的懸臂樑受到紅外輻射後的熱形變分佈,得到紅外源的溫度分佈,從而實現在基于光力效應的光學讀齣繫統中成像的目的.利用解析法建立瞭單層膜懸臂樑結構的熱機械模型,用有限元軟件對其優化參數下的熱學性能和耦閤特性進行瞭有限元的計算機模擬與分析.模擬熱機械靈敏度結果為2.49×10-4 deg/K,與熱機械模型預測結果基本一緻,為FPA的結構設計提供瞭有效的參數依據.
제출료일충박막식루공쌍재료단층막미현비량결구적비제랭홍외초평면성상진렬(FPA,Focal Plate Array).통과측량열팽창계수상차교대적량충재료구성적현비량수도홍외복사후적열형변분포,득도홍외원적온도분포,종이실현재기우광력효응적광학독출계통중성상적목적.이용해석법건립료단층막현비량결구적열궤계모형,용유한원연건대기우화삼수하적열학성능화우합특성진행료유한원적계산궤모의여분석.모의열궤계령민도결과위2.49×10-4 deg/K,여열궤계모형예측결과기본일치,위FPA적결구설계제공료유효적삼수의거.
