强激光与粒子束
彊激光與粒子束
강격광여입자속
HIGH POWER LASER AND PARTICLEBEAMS
2007年
6期
1035-1038
,共4页
安晓霞%于力%黄超%马连英%华恒祺%易爱平
安曉霞%于力%黃超%馬連英%華恆祺%易愛平
안효하%우력%황초%마련영%화항기%역애평
表面放电%辐射源%放电特性%放电沉积
錶麵放電%輻射源%放電特性%放電沉積
표면방전%복사원%방전특성%방전침적
介绍了平台式和斜坡式两种结构的表面放电辐射源,研究了在1.0 μF和1.5 μF储能电容、15～30 kV充电电压等实验条件下两种辐射源的放电特性,并对实验结果进行了比较分析.得到如下结论:对于斜坡式辐射源,增加电极间距可导致放电回路面积增大,因此等效电阻和等效电感也将增加;在相同电压及电容值条件下,斜坡式辐射源的放电电流、平均沉积功率均小于平台式辐射源的相应值,但放电沉积效率略大;电压升高使放电周期、电流达到峰值时间及放电沉积效率呈减小趋势,对于同一种辐射源,使用1.5 μF电容时放电回路参数更加匹配,放电沉积效率得到提高.
介紹瞭平檯式和斜坡式兩種結構的錶麵放電輻射源,研究瞭在1.0 μF和1.5 μF儲能電容、15～30 kV充電電壓等實驗條件下兩種輻射源的放電特性,併對實驗結果進行瞭比較分析.得到如下結論:對于斜坡式輻射源,增加電極間距可導緻放電迴路麵積增大,因此等效電阻和等效電感也將增加;在相同電壓及電容值條件下,斜坡式輻射源的放電電流、平均沉積功率均小于平檯式輻射源的相應值,但放電沉積效率略大;電壓升高使放電週期、電流達到峰值時間及放電沉積效率呈減小趨勢,對于同一種輻射源,使用1.5 μF電容時放電迴路參數更加匹配,放電沉積效率得到提高.
개소료평태식화사파식량충결구적표면방전복사원,연구료재1.0 μF화1.5 μF저능전용、15～30 kV충전전압등실험조건하량충복사원적방전특성,병대실험결과진행료비교분석.득도여하결론:대우사파식복사원,증가전겁간거가도치방전회로면적증대,인차등효전조화등효전감야장증가;재상동전압급전용치조건하,사파식복사원적방전전류、평균침적공솔균소우평태식복사원적상응치,단방전침적효솔략대;전압승고사방전주기、전류체도봉치시간급방전침적효솔정감소추세,대우동일충복사원,사용1.5 μF전용시방전회로삼수경가필배,방전침적효솔득도제고.
