真空
真空
진공
VACUUM
2008年
1期
45-47
,共3页
李剑锋%李国卿%苟伟%周艳梅%薛钰芝%牟宗信
李劍鋒%李國卿%茍偉%週豔梅%薛鈺芝%牟宗信
리검봉%리국경%구위%주염매%설옥지%모종신
铝离子注入%氧化锌%薄膜
鋁離子註入%氧化鋅%薄膜
려리자주입%양화자%박막
本文采用中频孪生非平衡磁控溅射设备制备非晶ZnO薄膜,再以不同剂量的铝离子注入法制备氧化锌铝薄膜.并采用X射线、扫描电镜、四极电阻仪、霍尔效应等方法测量和分析了原始沉积的和铝金属离子注入掺杂ZAO膜在不同温度下退火的组织结构、形貌、电阻与工艺的关系.结果表明,金属离子注入铝的方法制备氧化锌铝薄膜的电阻值随着注入剂量的增加而减小,呈线形关系,透明度均在90%左右,在铝离子注入剂量大于1×1016时,透光率在75%～80%.研究表明,该方法可以任意调整铝离子的注入剂量,获得要求特性的ZAO薄膜.
本文採用中頻孿生非平衡磁控濺射設備製備非晶ZnO薄膜,再以不同劑量的鋁離子註入法製備氧化鋅鋁薄膜.併採用X射線、掃描電鏡、四極電阻儀、霍爾效應等方法測量和分析瞭原始沉積的和鋁金屬離子註入摻雜ZAO膜在不同溫度下退火的組織結構、形貌、電阻與工藝的關繫.結果錶明,金屬離子註入鋁的方法製備氧化鋅鋁薄膜的電阻值隨著註入劑量的增加而減小,呈線形關繫,透明度均在90%左右,在鋁離子註入劑量大于1×1016時,透光率在75%～80%.研究錶明,該方法可以任意調整鋁離子的註入劑量,穫得要求特性的ZAO薄膜.
본문채용중빈련생비평형자공천사설비제비비정ZnO박막,재이불동제량적려리자주입법제비양화자려박막.병채용X사선、소묘전경、사겁전조의、곽이효응등방법측량화분석료원시침적적화려금속리자주입참잡ZAO막재불동온도하퇴화적조직결구、형모、전조여공예적관계.결과표명,금속리자주입려적방법제비양화자려박막적전조치수착주입제량적증가이감소,정선형관계,투명도균재90%좌우,재려리자주입제량대우1×1016시,투광솔재75%～80%.연구표명,해방법가이임의조정려리자적주입제량,획득요구특성적ZAO박막.
