微纳电子技术
微納電子技術
미납전자기술
MICRONANOELECTRONIC TECHNOLOGY
2011年
4期
248-253
,共6页
微机械系统(MEMS)%微机械谐振器%机电类比%机械集总参数%ANSYS软件
微機械繫統(MEMS)%微機械諧振器%機電類比%機械集總參數%ANSYS軟件
미궤계계통(MEMS)%미궤계해진기%궤전류비%궤계집총삼수%ANSYS연건
通过对径向振动圆盘的机械振动方程进行分析,将机械振动的分散参数集总化,提取出机械集总参量并通过机电类比的方法将集总化的机械参量类比成电参量,建立起径向振动微机械谐振器的电参数模型.利用ANSYS软件对径向振动盘式微机械谐振器进行模拟,提取出谐振频率和振动位移,并以此为基础计算出等效质量及阻尼和刚度的数值,进而通过机电耦合系数求出电参数值.以所提取的电参数为依据,分析了谐振器的结构对谐振器的等效阻抗的影响.谐振器的等效电路及分析结果将成为后续结构和驱动电路设计的出发点.
通過對徑嚮振動圓盤的機械振動方程進行分析,將機械振動的分散參數集總化,提取齣機械集總參量併通過機電類比的方法將集總化的機械參量類比成電參量,建立起徑嚮振動微機械諧振器的電參數模型.利用ANSYS軟件對徑嚮振動盤式微機械諧振器進行模擬,提取齣諧振頻率和振動位移,併以此為基礎計算齣等效質量及阻尼和剛度的數值,進而通過機電耦閤繫數求齣電參數值.以所提取的電參數為依據,分析瞭諧振器的結構對諧振器的等效阻抗的影響.諧振器的等效電路及分析結果將成為後續結構和驅動電路設計的齣髮點.
통과대경향진동원반적궤계진동방정진행분석,장궤계진동적분산삼수집총화,제취출궤계집총삼량병통과궤전류비적방법장집총화적궤계삼량류비성전삼량,건립기경향진동미궤계해진기적전삼수모형.이용ANSYS연건대경향진동반식미궤계해진기진행모의,제취출해진빈솔화진동위이,병이차위기출계산출등효질량급조니화강도적수치,진이통과궤전우합계수구출전삼수치.이소제취적전삼수위의거,분석료해진기적결구대해진기적등효조항적영향.해진기적등효전로급분석결과장성위후속결구화구동전로설계적출발점.
