功能材料
功能材料
공능재료
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS
2011年
z4期
681-684
,共4页
文春明%尤政%温志渝%王晓峰%陈李
文春明%尤政%溫誌渝%王曉峰%陳李
문춘명%우정%온지투%왕효봉%진리
三维微结构%SU-8光刻胶%高深宽比%超级电容器%MEMS
三維微結構%SU-8光刻膠%高深寬比%超級電容器%MEMS
삼유미결구%SU-8광각효%고심관비%초급전용기%MEMS
为了增大MEMS超级电容器电极结构的表面积,提高MEMS超级电容器的电荷存储能力,研究了利用SU-8胶制备高深宽比三维电极微结构.经过基片清洗、涂胶、前烘、曝光、后烘、显影、坚膜等过程,制备了深宽比为6的微结构.分析讨论了微结构制备过程中基底洁净度和升降温速度及曝光、显影时间等因素对结构制备的影响.实验结果表明,用SU-8胶制备高深宽三维电极微结构,能在相同底面积的基础上有效增加电板结构的表面积,提高单位底面积的电容器储能密度.
為瞭增大MEMS超級電容器電極結構的錶麵積,提高MEMS超級電容器的電荷存儲能力,研究瞭利用SU-8膠製備高深寬比三維電極微結構.經過基片清洗、塗膠、前烘、曝光、後烘、顯影、堅膜等過程,製備瞭深寬比為6的微結構.分析討論瞭微結構製備過程中基底潔淨度和升降溫速度及曝光、顯影時間等因素對結構製備的影響.實驗結果錶明,用SU-8膠製備高深寬三維電極微結構,能在相同底麵積的基礎上有效增加電闆結構的錶麵積,提高單位底麵積的電容器儲能密度.
위료증대MEMS초급전용기전겁결구적표면적,제고MEMS초급전용기적전하존저능력,연구료이용SU-8효제비고심관비삼유전겁미결구.경과기편청세、도효、전홍、폭광、후홍、현영、견막등과정,제비료심관비위6적미결구.분석토론료미결구제비과정중기저길정도화승강온속도급폭광、현영시간등인소대결구제비적영향.실험결과표명,용SU-8효제비고심관삼유전겁미결구,능재상동저면적적기출상유효증가전판결구적표면적,제고단위저면적적전용기저능밀도.
