机械设计
機械設計
궤계설계
Journal of Machine Design
2012年
8期
80-82
,共3页
邵伟平%张继桃%郝永平%渠元菊%王威%谷双喜
邵偉平%張繼桃%郝永平%渠元菊%王威%穀雙喜
소위평%장계도%학영평%거원국%왕위%곡쌍희
微机电系统%S型微弹簧%弹性系数%加工误差
微機電繫統%S型微彈簧%彈性繫數%加工誤差
미궤전계통%S형미탄황%탄성계수%가공오차
对微机电系统( Micro-Electro-Mechanical System,MEMS)加工的S型微弹簧垂直方向弹性系数影响最大的参数是弹簧线宽b.鉴于此,特针对采用LIGA工艺加工出的两组不同弹簧的线宽进行了精密测量,分析计算出加工误差对弹性系数的影响大小,并对S型微弹簧的设计提出几点建议.
對微機電繫統( Micro-Electro-Mechanical System,MEMS)加工的S型微彈簧垂直方嚮彈性繫數影響最大的參數是彈簧線寬b.鑒于此,特針對採用LIGA工藝加工齣的兩組不同彈簧的線寬進行瞭精密測量,分析計算齣加工誤差對彈性繫數的影響大小,併對S型微彈簧的設計提齣幾點建議.
대미궤전계통( Micro-Electro-Mechanical System,MEMS)가공적S형미탄황수직방향탄성계수영향최대적삼수시탄황선관b.감우차,특침대채용LIGA공예가공출적량조불동탄황적선관진행료정밀측량,분석계산출가공오차대탄성계수적영향대소,병대S형미탄황적설계제출궤점건의.
