聊城大学学报（自然科学版）
聊城大學學報（自然科學版）
료성대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF LIAOCHENG TEACHERS UNIVERSITY（NATURAL SCIENCE EDITION）
2006年
3期
36-39
,共4页
徐东然%马葆基%肖效光%王长征
徐東然%馬葆基%肖效光%王長徵
서동연%마보기%초효광%왕장정
激光分子束外延%多层膜%超晶格
激光分子束外延%多層膜%超晶格
격광분자속외연%다층막%초정격
激光分子束外延制备薄膜是在传统分子束外延和普通激光淀积技术基础上发展起来的,以原子层、原胞层尺度研制薄膜的技术和方法.简要介绍了激光分子束外延的装置和工作原理、特点与优势及其研究内容,并对其应用前景进行了展望.
激光分子束外延製備薄膜是在傳統分子束外延和普通激光澱積技術基礎上髮展起來的,以原子層、原胞層呎度研製薄膜的技術和方法.簡要介紹瞭激光分子束外延的裝置和工作原理、特點與優勢及其研究內容,併對其應用前景進行瞭展望.
격광분자속외연제비박막시재전통분자속외연화보통격광정적기술기출상발전기래적,이원자층、원포층척도연제박막적기술화방법.간요개소료격광분자속외연적장치화공작원리、특점여우세급기연구내용,병대기응용전경진행료전망.
