物理学报
物理學報
물이학보
2006年
10期
5451-5454
,共4页
邸玉贤%计欣华%胡明%秦玉文%陈金龙
邸玉賢%計訢華%鬍明%秦玉文%陳金龍
저옥현%계흔화%호명%진옥문%진금룡
薄膜%残余应力%孔隙率%多孔硅
薄膜%殘餘應力%孔隙率%多孔硅
박막%잔여응력%공극솔%다공규
通过基底曲率法设计和制作了一种测量薄膜应力的装置,它具有全场性、非接触性、高分辨率、无破坏、数据获取速度快等特点.使用该装置测量了电化学腐蚀法制作的多孔硅薄膜的残余应力,并研究了孔隙率和基底掺杂浓度对残余应力的影响,结果表明随着孔隙率的增加和硼离子掺杂浓度的提高,多孔硅表面的拉伸应力逐渐加大,由此表明多孔硅薄膜的微观结构与残余应力的大小有着密切的联系.
通過基底麯率法設計和製作瞭一種測量薄膜應力的裝置,它具有全場性、非接觸性、高分辨率、無破壞、數據穫取速度快等特點.使用該裝置測量瞭電化學腐蝕法製作的多孔硅薄膜的殘餘應力,併研究瞭孔隙率和基底摻雜濃度對殘餘應力的影響,結果錶明隨著孔隙率的增加和硼離子摻雜濃度的提高,多孔硅錶麵的拉伸應力逐漸加大,由此錶明多孔硅薄膜的微觀結構與殘餘應力的大小有著密切的聯繫.
통과기저곡솔법설계화제작료일충측량박막응력적장치,타구유전장성、비접촉성、고분변솔、무파배、수거획취속도쾌등특점.사용해장치측량료전화학부식법제작적다공규박막적잔여응력,병연구료공극솔화기저참잡농도대잔여응력적영향,결과표명수착공극솔적증가화붕리자참잡농도적제고,다공규표면적랍신응력축점가대,유차표명다공규박막적미관결구여잔여응력적대소유착밀절적련계.
