现代制造工程
現代製造工程
현대제조공정
MODERN MANUFACTURING ENGINEERING
2009年
4期
1-4
,共4页
光波导器件封装%多体系统%空间误差%误差建模
光波導器件封裝%多體繫統%空間誤差%誤差建模
광파도기건봉장%다체계통%공간오차%오차건모
平面波导芯片与阵列光纤之间的对准,主要依靠器件封装设备运动平台的六维全空间亚微米精度运动控制,来实现其精确定位对准,基于多体系统理论,阐述四轴运动平台综合空间误差的建模过程,为阵列光波导器件封装设备运动平台的精度分析和误差补偿,提供一种理想的建模技术.
平麵波導芯片與陣列光纖之間的對準,主要依靠器件封裝設備運動平檯的六維全空間亞微米精度運動控製,來實現其精確定位對準,基于多體繫統理論,闡述四軸運動平檯綜閤空間誤差的建模過程,為陣列光波導器件封裝設備運動平檯的精度分析和誤差補償,提供一種理想的建模技術.
평면파도심편여진렬광섬지간적대준,주요의고기건봉장설비운동평태적륙유전공간아미미정도운동공제,래실현기정학정위대준,기우다체계통이론,천술사축운동평태종합공간오차적건모과정,위진렬광파도기건봉장설비운동평태적정도분석화오차보상,제공일충이상적건모기술.
