表面技术
錶麵技術
표면기술
SURFACE TECHNOLOGY
2010年
4期
103-105
,共3页
张玲%赖起邦%崔万国%王辅明
張玲%賴起邦%崔萬國%王輔明
장령%뢰기방%최만국%왕보명
类金刚石薄膜%拉曼光谱%sp3含量%G峰
類金剛石薄膜%拉曼光譜%sp3含量%G峰
류금강석박막%랍만광보%sp3함량%G봉
DLC薄膜的拉曼光谱表征主要依靠D峰和G峰的强度比值(ID/IG)来定性判断sp3含量,但当sp3所占百分比高于20%时,ID/IG值对sp3含量的变化不敏感,判断的误差很大.采用直流磁控溅射和多弧离子镀制备了一系列无氢DLC薄膜样品,并测量了样品的拉曼光谱和维氏硬度.通过数据分析,发现薄膜硬度和拉曼光谱中的G峰半峰宽具有很好的相关性,因而提出通过G峰半峰宽来定量判断DLC薄膜中sp3含量的拉曼光谱表征新方法.
DLC薄膜的拉曼光譜錶徵主要依靠D峰和G峰的彊度比值(ID/IG)來定性判斷sp3含量,但噹sp3所佔百分比高于20%時,ID/IG值對sp3含量的變化不敏感,判斷的誤差很大.採用直流磁控濺射和多弧離子鍍製備瞭一繫列無氫DLC薄膜樣品,併測量瞭樣品的拉曼光譜和維氏硬度.通過數據分析,髮現薄膜硬度和拉曼光譜中的G峰半峰寬具有很好的相關性,因而提齣通過G峰半峰寬來定量判斷DLC薄膜中sp3含量的拉曼光譜錶徵新方法.
DLC박막적랍만광보표정주요의고D봉화G봉적강도비치(ID/IG)래정성판단sp3함량,단당sp3소점백분비고우20%시,ID/IG치대sp3함량적변화불민감,판단적오차흔대.채용직류자공천사화다호리자도제비료일계렬무경DLC박막양품,병측량료양품적랍만광보화유씨경도.통과수거분석,발현박막경도화랍만광보중적G봉반봉관구유흔호적상관성,인이제출통과G봉반봉관래정량판단DLC박막중sp3함량적랍만광보표정신방법.
