电子器件
電子器件
전자기건
JOURNAL OF ELECTRON DEVICES
2011年
2期
125-128
,共4页
杨超%沈鸿烈%吴京波%陈海力%江丰%李斌斌
楊超%瀋鴻烈%吳京波%陳海力%江豐%李斌斌
양초%침홍렬%오경파%진해력%강봉%리빈빈
太阳电池%离子束刻蚀%开路电压%填充因子%转换效率
太暘電池%離子束刻蝕%開路電壓%填充因子%轉換效率
태양전지%리자속각식%개로전압%전충인자%전환효솔
为了减少太阳电池载流子的背面复合,采用离子束对沉积完SiNx减反射膜后的单面扩散和双面扩散的单晶硅片背面进行刻蚀,研究了刻蚀时间对太阳电池性能的影响.采用标准的太阳电池单片测试仪测试电池性能.发现背面经离子束刻蚀后,单面扩散和双面扩散电池片的并联电阻、开路电压、填充因子和转换效率都有所提高,而串联电阻和短路电流的变化则不是很明显.本实验采用的是Ⅱ类单晶硅片,单面扩散电池片通过背面刻蚀后最高转换效率达到15.99%,比不刻蚀样品增加了0.69%;双面扩散电池片通过背面刻蚀后最高转换效率则达到16.4%,比不刻蚀样品增加了0.68%.
為瞭減少太暘電池載流子的揹麵複閤,採用離子束對沉積完SiNx減反射膜後的單麵擴散和雙麵擴散的單晶硅片揹麵進行刻蝕,研究瞭刻蝕時間對太暘電池性能的影響.採用標準的太暘電池單片測試儀測試電池性能.髮現揹麵經離子束刻蝕後,單麵擴散和雙麵擴散電池片的併聯電阻、開路電壓、填充因子和轉換效率都有所提高,而串聯電阻和短路電流的變化則不是很明顯.本實驗採用的是Ⅱ類單晶硅片,單麵擴散電池片通過揹麵刻蝕後最高轉換效率達到15.99%,比不刻蝕樣品增加瞭0.69%;雙麵擴散電池片通過揹麵刻蝕後最高轉換效率則達到16.4%,比不刻蝕樣品增加瞭0.68%.
위료감소태양전지재류자적배면복합,채용리자속대침적완SiNx감반사막후적단면확산화쌍면확산적단정규편배면진행각식,연구료각식시간대태양전지성능적영향.채용표준적태양전지단편측시의측시전지성능.발현배면경리자속각식후,단면확산화쌍면확산전지편적병련전조、개로전압、전충인자화전환효솔도유소제고,이천련전조화단로전류적변화칙불시흔명현.본실험채용적시Ⅱ류단정규편,단면확산전지편통과배면각식후최고전환효솔체도15.99%,비불각식양품증가료0.69%;쌍면확산전지편통과배면각식후최고전환효솔칙체도16.4%,비불각식양품증가료0.68%.
