导航与控制
導航與控製
도항여공제
NAVIGATION AND CONTROL
2011年
1期
33-40
,共8页
姚保寅%冯丽爽%周震%迟媛媛
姚保寅%馮麗爽%週震%遲媛媛
요보인%풍려상%주진%지원원
微加速度计%硅谐振式加速度计%谐振器%微杠杆
微加速度計%硅諧振式加速度計%諧振器%微槓桿
미가속도계%규해진식가속도계%해진기%미강간
硅谐振式加速度计(SOA)精度高,稳定性好,数字输出,且体积小,成本低,易于集成,是新一代的微小型加速度计,具有极佳的应用前景.介绍了SOA的结构原理和发展概况,从谐振器,微杠杆,加工工艺,改变刚度方式,激励和检测方式等几方面对SOA的关键技术进行了综述.分析了SOA的机械耦合,加工工艺误差,梁弯曲刚度非线性等三大技术难点,并提出解决方案.最后对SOA的发展趋势进行了展望.
硅諧振式加速度計(SOA)精度高,穩定性好,數字輸齣,且體積小,成本低,易于集成,是新一代的微小型加速度計,具有極佳的應用前景.介紹瞭SOA的結構原理和髮展概況,從諧振器,微槓桿,加工工藝,改變剛度方式,激勵和檢測方式等幾方麵對SOA的關鍵技術進行瞭綜述.分析瞭SOA的機械耦閤,加工工藝誤差,樑彎麯剛度非線性等三大技術難點,併提齣解決方案.最後對SOA的髮展趨勢進行瞭展望.
규해진식가속도계(SOA)정도고,은정성호,수자수출,차체적소,성본저,역우집성,시신일대적미소형가속도계,구유겁가적응용전경.개소료SOA적결구원리화발전개황,종해진기,미강간,가공공예,개변강도방식,격려화검측방식등궤방면대SOA적관건기술진행료종술.분석료SOA적궤계우합,가공공예오차,량만곡강도비선성등삼대기술난점,병제출해결방안.최후대SOA적발전추세진행료전망.
