实验技术与管理
實驗技術與管理
실험기술여관리
EXPERIMENTAL TECHNOLOGY AND MANAGEMENT
2011年
11期
41-43,46
,共4页
葛大勇%赵庆勋%杨保柱%何雷
葛大勇%趙慶勛%楊保柱%何雷
갈대용%조경훈%양보주%하뢰
金刚石薄膜%光学发射谱%n型掺杂%硫掺杂
金剛石薄膜%光學髮射譜%n型摻雜%硫摻雜
금강석박막%광학발사보%n형참잡%류참잡
利用辉光等离子体辅助热丝化学气相沉积法.制备硫掺杂n型金刚石薄膜,利用光学发射谱技术对其生长环境进行原位诊断,分析合成机理及生长的最佳条件.结果表明,合成金刚石薄膜的合成反应区中主要粒子为CH、CH+、活性H原子,提高工作气压和硫碳配比浓度有利于提高硫掺杂浓度,在低温条件下合成了高品质的硫掺杂n型金剐石薄膜.
利用輝光等離子體輔助熱絲化學氣相沉積法.製備硫摻雜n型金剛石薄膜,利用光學髮射譜技術對其生長環境進行原位診斷,分析閤成機理及生長的最佳條件.結果錶明,閤成金剛石薄膜的閤成反應區中主要粒子為CH、CH+、活性H原子,提高工作氣壓和硫碳配比濃度有利于提高硫摻雜濃度,在低溫條件下閤成瞭高品質的硫摻雜n型金剮石薄膜.
이용휘광등리자체보조열사화학기상침적법.제비류참잡n형금강석박막,이용광학발사보기술대기생장배경진행원위진단,분석합성궤리급생장적최가조건.결과표명,합성금강석박막적합성반응구중주요입자위CH、CH+、활성H원자,제고공작기압화류탄배비농도유리우제고류참잡농도,재저온조건하합성료고품질적류참잡n형금과석박막.
