微电子学
微電子學
미전자학
MICROELECTRONICS
2002年
4期
241-244
,共4页
卿健%石艳玲%赖宗声%朱自强
卿健%石豔玲%賴宗聲%硃自彊
경건%석염령%뢰종성%주자강
MEMS%移相器%PIN二极管%通信系统
MEMS%移相器%PIN二極管%通信繫統
MEMS%이상기%PIN이겁관%통신계통
从传统移相器的构造和原理出发,进一步分析了MEMS移相器的结构、特性.结果表明,MEMS移相器具有传统移相器所无法比拟的体积小、损耗小、成本低、频带宽、易于集成等突出优点.随着高阻硅衬底在微波领域应用的扩展,MEMS移相器介质损耗大幅度降低,将能与信号处理电路一同集成于硅衬底上,便于相控阵雷达等通信系统实现微小型化.
從傳統移相器的構造和原理齣髮,進一步分析瞭MEMS移相器的結構、特性.結果錶明,MEMS移相器具有傳統移相器所無法比擬的體積小、損耗小、成本低、頻帶寬、易于集成等突齣優點.隨著高阻硅襯底在微波領域應用的擴展,MEMS移相器介質損耗大幅度降低,將能與信號處理電路一同集成于硅襯底上,便于相控陣雷達等通信繫統實現微小型化.
종전통이상기적구조화원리출발,진일보분석료MEMS이상기적결구、특성.결과표명,MEMS이상기구유전통이상기소무법비의적체적소、손모소、성본저、빈대관、역우집성등돌출우점.수착고조규츤저재미파영역응용적확전,MEMS이상기개질손모대폭도강저,장능여신호처리전로일동집성우규츤저상,편우상공진뢰체등통신계통실현미소형화.
