磁盘伺服图形光刻机主轴稳速系统设计
자반사복도형광각궤주축은속계통설계
Design of the Spindle Speed Stablization System for the Disc Servo Photo Optical Etching Machine
  • 万方数据
    小型微型计算机系统 소형미형계산궤계통
    MINI-MICRO SYSTEMS
    2003年 10期 1882-1885 ,共4页

    王晓兰%周建国%罗敢

    왕효란%주건국%라감

    光刻机%稳速精度%单片机控制 光刻機%穩速精度%單片機控製
    광각궤%은속정도%단편궤공제
    叙述了影响磁盘伺服图形光刻机主轴转速误差主要来源,分析了主轴稳速系统是实现光刻机均匀刻录不可缺少的重要环节,提出了提高主轴稳速精度具体设计方案.
    서술료영향자반사복도형광각궤주축전속오차주요래원,분석료주축은속계통시실현광각궤균균각록불가결소적중요배절,제출료제고주축은속정도구체설계방안.
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