光学与光电技术
光學與光電技術
광학여광전기술
OPTICS & OPTOELECTRONIC TECHNOLOGY
2005年
2期
41-44
,共4页
轮廓仪%非球面检测%系统误差
輪廓儀%非毬麵檢測%繫統誤差
륜곽의%비구면검측%계통오차
从轮廓仪的工作原理出发,分析了影响轮廓仪检测精度的主要系统误差,并以二次旋转非球面为例计算了系统误差对面形检测精度的影响,得出Talysurf轮廓仪在测量时,系统误差对面形误差的影响随顶点曲率的绝对值、口径以及偏心率函数的增大而增大,随定位误差和不重合误差的增大而增大的结论.最后的实验结果证明了该结论的正确性.
從輪廓儀的工作原理齣髮,分析瞭影響輪廓儀檢測精度的主要繫統誤差,併以二次鏇轉非毬麵為例計算瞭繫統誤差對麵形檢測精度的影響,得齣Talysurf輪廓儀在測量時,繫統誤差對麵形誤差的影響隨頂點麯率的絕對值、口徑以及偏心率函數的增大而增大,隨定位誤差和不重閤誤差的增大而增大的結論.最後的實驗結果證明瞭該結論的正確性.
종륜곽의적공작원리출발,분석료영향륜곽의검측정도적주요계통오차,병이이차선전비구면위례계산료계통오차대면형검측정도적영향,득출Talysurf륜곽의재측량시,계통오차대면형오차적영향수정점곡솔적절대치、구경이급편심솔함수적증대이증대,수정위오차화불중합오차적증대이증대적결론.최후적실험결과증명료해결론적정학성.
