传感技术学报
傳感技術學報
전감기술학보
Journal of Transduction Technology
2006年
5期
2054-2056
,共3页
宋明歆%宫纯青%贺训军%殷景华%刘晓为
宋明歆%宮純青%賀訓軍%慇景華%劉曉為
송명흠%궁순청%하훈군%은경화%류효위
MEMS%有限元法%霍尔器件%器件结构
MEMS%有限元法%霍爾器件%器件結構
MEMS%유한원법%곽이기건%기건결구
利用有限元分析软件ANSYS对长方形和圆形两种霍尔器件的工作状态进行模拟,分析霍尔片(霍尔器件工件区域)结构尺寸与霍尔器件灵敏度的关系,研究形状对器件灵敏度的影响.结果表明:圆形霍尔片灵敏度比长方形霍尔片的高,当圆形霍尔片的半径与厚度比值为15时,灵敏度最高.
利用有限元分析軟件ANSYS對長方形和圓形兩種霍爾器件的工作狀態進行模擬,分析霍爾片(霍爾器件工件區域)結構呎吋與霍爾器件靈敏度的關繫,研究形狀對器件靈敏度的影響.結果錶明:圓形霍爾片靈敏度比長方形霍爾片的高,噹圓形霍爾片的半徑與厚度比值為15時,靈敏度最高.
이용유한원분석연건ANSYS대장방형화원형량충곽이기건적공작상태진행모의,분석곽이편(곽이기건공건구역)결구척촌여곽이기건령민도적관계,연구형상대기건령민도적영향.결과표명:원형곽이편령민도비장방형곽이편적고,당원형곽이편적반경여후도비치위15시,령민도최고.
