CAJ | 학술논문

氢氟酸(HF)刻蚀SiO2牺牲层受多种因素影响,其中刻蚀液的温度、组分、浓度、被刻蚀结构的形式及结构内部的残余应力等是最主要的.样品设计了多种测试结构,深入研究这些因素对刻蚀速率及结果的影响,并进行了详细的讨论与分析.通过实验可观察到刻蚀过程中的反应限制阶段与扩散限制阶段,说明经长时间的刻蚀,HF的扩散效应将成为影响刻蚀速率的主导因素.对于实验过程中观察到的"凸"状的刻蚀前端和"晕纹"现象,分析认为结构中的应力梯度及材料间不同的亲水性质是产生这些现象的主要原因.
경불산(HF)각식SiO2희생층수다충인소영향,기중각식액적온도、조분、농도、피각식결구적형식급결구내부적잔여응력등시최주요적.양품설계료다충측시결구,심입연구저사인소대각식속솔급결과적영향,병진행료상세적토론여분석.통과실험가관찰도각식과정중적반응한제계단여확산한제계단,설명경장시간적각식,HF적확산효응장성위영향각식속솔적주도인소.대우실험과정중관찰도적"철"상적각식전단화"훈문"현상,분석인위결구중적응력제도급재료간불동적친수성질시산생저사현상적주요원인.