物理学报
物理學報
물이학보
2008年
6期
3807-3812
,共6页
栾苏珍%刘红侠%贾仁需%蔡乃琼
欒囌珍%劉紅俠%賈仁需%蔡迺瓊
란소진%류홍협%가인수%채내경
异质栅%绝缘衬底上的硅%阈值电压%解析模型
異質柵%絕緣襯底上的硅%閾值電壓%解析模型
이질책%절연츤저상적규%역치전압%해석모형
为了研究高介电常数(高κ)栅介质材料异质栅中绝缘衬底上的硅和金属-氧化物-硅场效应晶体管的短沟道效应,为新结构器件建立了全耗尽条件下表面势和阈值电压的二维解析模型.模型中考虑了各种主要因素的影响,包括不同介电常数材料的J影响,栅金属长度及其功函数变化的影响,不同漏电压对短沟道效应的影响.结果表明,沟道表面势中引入了阶梯分布,因此源端电场较强;同时漏电压引起的电势变化可以被屏蔽,抑制短沟道效应.栅介电常数增大,也可以较好的抑制短沟道效应.解析模型与数值模拟软件ISE所得结果高度吻合.
為瞭研究高介電常數(高κ)柵介質材料異質柵中絕緣襯底上的硅和金屬-氧化物-硅場效應晶體管的短溝道效應,為新結構器件建立瞭全耗儘條件下錶麵勢和閾值電壓的二維解析模型.模型中攷慮瞭各種主要因素的影響,包括不同介電常數材料的J影響,柵金屬長度及其功函數變化的影響,不同漏電壓對短溝道效應的影響.結果錶明,溝道錶麵勢中引入瞭階梯分佈,因此源耑電場較彊;同時漏電壓引起的電勢變化可以被屏蔽,抑製短溝道效應.柵介電常數增大,也可以較好的抑製短溝道效應.解析模型與數值模擬軟件ISE所得結果高度吻閤.
위료연구고개전상수(고κ)책개질재료이질책중절연츤저상적규화금속-양화물-규장효응정체관적단구도효응,위신결구기건건립료전모진조건하표면세화역치전압적이유해석모형.모형중고필료각충주요인소적영향,포괄불동개전상수재료적J영향,책금속장도급기공함수변화적영향,불동루전압대단구도효응적영향.결과표명,구도표면세중인입료계제분포,인차원단전장교강;동시루전압인기적전세변화가이피병폐,억제단구도효응.책개전상수증대,야가이교호적억제단구도효응.해석모형여수치모의연건ISE소득결과고도문합.
