功能材料与器件学报
功能材料與器件學報
공능재료여기건학보
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS AND DEVICES
2010年
3期
206-210
,共5页
汪海波%俞沁聪%刘卫丽%宋志棠%张楷亮
汪海波%俞沁聰%劉衛麗%宋誌棠%張楷亮
왕해파%유심총%류위려%송지당%장해량
蓝宝石%化学机械抛光(CMP)%二氧化硅%pH值%Heresy系数
藍寶石%化學機械拋光(CMP)%二氧化硅%pH值%Heresy繫數
람보석%화학궤계포광(CMP)%이양화규%pH치%Heresy계수
系统研究了抛光液的pH值、抛光压力和相对转速等因素对蓝宝石抛光速率和表面粗糙度的影响,研究结果表明:随pH值(9-12)的升高,抛光速率增加,表面粗糙度先降低后升高;随抛光压力和相对转速的增加,抛光速率先增加后降低,表面粗糙度先降低后升高.研究分析认为:pH值因影响在蓝宝石表面形成的水化层从而影响抛光速率和粗糙度;与抛光压力和相对转速相关的Hersey系数对抛光效果影响很大,当Hersey系数为24时,蓝宝石的抛光速率和表面平整度均达到最佳.
繫統研究瞭拋光液的pH值、拋光壓力和相對轉速等因素對藍寶石拋光速率和錶麵粗糙度的影響,研究結果錶明:隨pH值(9-12)的升高,拋光速率增加,錶麵粗糙度先降低後升高;隨拋光壓力和相對轉速的增加,拋光速率先增加後降低,錶麵粗糙度先降低後升高.研究分析認為:pH值因影響在藍寶石錶麵形成的水化層從而影響拋光速率和粗糙度;與拋光壓力和相對轉速相關的Hersey繫數對拋光效果影響很大,噹Hersey繫數為24時,藍寶石的拋光速率和錶麵平整度均達到最佳.
계통연구료포광액적pH치、포광압력화상대전속등인소대람보석포광속솔화표면조조도적영향,연구결과표명:수pH치(9-12)적승고,포광속솔증가,표면조조도선강저후승고;수포광압력화상대전속적증가,포광속솔선증가후강저,표면조조도선강저후승고.연구분석인위:pH치인영향재람보석표면형성적수화층종이영향포광속솔화조조도;여포광압력화상대전속상관적Hersey계수대포광효과영향흔대,당Hersey계수위24시,람보석적포광속솔화표면평정도균체도최가.
