中国材料进展
中國材料進展
중국재료진전
MATERIALS CHINA
2011年
3期
22-27
,共6页
赵晓辉%陶伯万%熊杰%刘兴钊%李言荣
趙曉輝%陶伯萬%熊傑%劉興釗%李言榮
조효휘%도백만%웅걸%류흥쇠%리언영
高温超导%涂层导体%YBCO%薄膜生长
高溫超導%塗層導體%YBCO%薄膜生長
고온초도%도층도체%YBCO%박막생장
介绍了采用反应溅射法制备双面Y<,2>O<,3>双面种子层长带材,通过引入水汽使Y原子在RABiTS基带上氧化成膜,同时有效的避免了基带的氧化.通过对工艺参数的优化,成功制备了高质量的Y<,2>O<,3>种子层,其面内面外半高宽仅为3.8°和1.4°,大大改善了金属基带的双轴织构特性,同时薄膜表面粗糙度仅为2.8nm.在制备的高质量种子层上采用溅射方法外延生长YSZ阻挡层和CeO<,2>模板层,薄膜表面光滑,并具有良好的均匀性和双面一致性.用双倒简靶溅射法制备YBCO超导层,采用旋转结合轴向自动进退,改善了薄膜受热不均的现象,获得了高质量的双面高温超导带材.其中短样双面临界电流Ⅰ<,c>之和超过了400 A/cm-w,同时成功制备了长度超过1米,Ⅰ<,c>>210 A/cm-W的双面高温超导带材.
介紹瞭採用反應濺射法製備雙麵Y<,2>O<,3>雙麵種子層長帶材,通過引入水汽使Y原子在RABiTS基帶上氧化成膜,同時有效的避免瞭基帶的氧化.通過對工藝參數的優化,成功製備瞭高質量的Y<,2>O<,3>種子層,其麵內麵外半高寬僅為3.8°和1.4°,大大改善瞭金屬基帶的雙軸織構特性,同時薄膜錶麵粗糙度僅為2.8nm.在製備的高質量種子層上採用濺射方法外延生長YSZ阻擋層和CeO<,2>模闆層,薄膜錶麵光滑,併具有良好的均勻性和雙麵一緻性.用雙倒簡靶濺射法製備YBCO超導層,採用鏇轉結閤軸嚮自動進退,改善瞭薄膜受熱不均的現象,穫得瞭高質量的雙麵高溫超導帶材.其中短樣雙麵臨界電流Ⅰ<,c>之和超過瞭400 A/cm-w,同時成功製備瞭長度超過1米,Ⅰ<,c>>210 A/cm-W的雙麵高溫超導帶材.
개소료채용반응천사법제비쌍면Y<,2>O<,3>쌍면충자층장대재,통과인입수기사Y원자재RABiTS기대상양화성막,동시유효적피면료기대적양화.통과대공예삼수적우화,성공제비료고질량적Y<,2>O<,3>충자층,기면내면외반고관부위3.8°화1.4°,대대개선료금속기대적쌍축직구특성,동시박막표면조조도부위2.8nm.재제비적고질량충자층상채용천사방법외연생장YSZ조당층화CeO<,2>모판층,박막표면광활,병구유량호적균균성화쌍면일치성.용쌍도간파천사법제비YBCO초도층,채용선전결합축향자동진퇴,개선료박막수열불균적현상,획득료고질량적쌍면고온초도대재.기중단양쌍면림계전류Ⅰ<,c>지화초과료400 A/cm-w,동시성공제비료장도초과1미,Ⅰ<,c>>210 A/cm-W적쌍면고온초도대재.
