计量技术
計量技術
계량기술
MEASUREMENT TECHNIQUE
2011年
7期
40-42
,共3页
刘文德%陈赤%于靖%徐英莹%樊其明%张静
劉文德%陳赤%于靖%徐英瑩%樊其明%張靜
류문덕%진적%우정%서영형%번기명%장정
计量学%相调制光谱椭偏仪%校准%热氧化硅
計量學%相調製光譜橢偏儀%校準%熱氧化硅
계량학%상조제광보타편의%교준%열양화규
对相调制光谱椭偏仪进行了用户级别的校准,结合椭偏理论简要讨论了校准的原理,测试结果表明椭偏角准确度达到0.01°.探讨了人为造成的准直调节不一致性以及样品膜层的不均匀性对样品测量结果的影响.对热氧化硅样片测量结果进行了统计分析,该工作是进一步研究椭偏仪误差和校准方法以及阿伏加德罗常数项目硅球表面层研究的基础.
對相調製光譜橢偏儀進行瞭用戶級彆的校準,結閤橢偏理論簡要討論瞭校準的原理,測試結果錶明橢偏角準確度達到0.01°.探討瞭人為造成的準直調節不一緻性以及樣品膜層的不均勻性對樣品測量結果的影響.對熱氧化硅樣片測量結果進行瞭統計分析,該工作是進一步研究橢偏儀誤差和校準方法以及阿伏加德囉常數項目硅毬錶麵層研究的基礎.
대상조제광보타편의진행료용호급별적교준,결합타편이론간요토론료교준적원리,측시결과표명타편각준학도체도0.01°.탐토료인위조성적준직조절불일치성이급양품막층적불균균성대양품측량결과적영향.대열양화규양편측량결과진행료통계분석,해공작시진일보연구타편의오차화교준방법이급아복가덕라상수항목규구표면층연구적기출.
