光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2012年
1期
165-170
,共6页
微机电系统%微机械陀螺%振动测试%动态测试%高速摄影
微機電繫統%微機械陀螺%振動測試%動態測試%高速攝影
미궤전계통%미궤계타라%진동측시%동태측시%고속섭영
针对微机电系统(MEMS)特征尺寸小,常用的动态测试方法和系统还有一定的缺点等问题,本文在介绍MEMS常见的三种动态测试方法的基础上,给出了一种基于高速摄影的微陀螺振动动态测试系统.介绍了系统的硬件架构和软件功能.在动态测试的关键算法上,应用Otsu算法对图像进行分割,使用感兴趣区域(ROI)和不变矩方法得到振动曲线,通过幅频分析得到微机械陀螺的振动特性.实验结果表明:使用这种方法测量振幅的精度达到了0.1μm；频域测量的重复性和一致性也较好.这种动态测试方法稳定可靠、精度高、抗干扰能力强,可以极大地减少计算量,提高系统运行速度.
針對微機電繫統(MEMS)特徵呎吋小,常用的動態測試方法和繫統還有一定的缺點等問題,本文在介紹MEMS常見的三種動態測試方法的基礎上,給齣瞭一種基于高速攝影的微陀螺振動動態測試繫統.介紹瞭繫統的硬件架構和軟件功能.在動態測試的關鍵算法上,應用Otsu算法對圖像進行分割,使用感興趣區域(ROI)和不變矩方法得到振動麯線,通過幅頻分析得到微機械陀螺的振動特性.實驗結果錶明:使用這種方法測量振幅的精度達到瞭0.1μm；頻域測量的重複性和一緻性也較好.這種動態測試方法穩定可靠、精度高、抗榦擾能力彊,可以極大地減少計算量,提高繫統運行速度.
침대미궤전계통(MEMS)특정척촌소,상용적동태측시방법화계통환유일정적결점등문제,본문재개소MEMS상견적삼충동태측시방법적기출상,급출료일충기우고속섭영적미타라진동동태측시계통.개소료계통적경건가구화연건공능.재동태측시적관건산법상,응용Otsu산법대도상진행분할,사용감흥취구역(ROI)화불변구방법득도진동곡선,통과폭빈분석득도미궤계타라적진동특성.실험결과표명:사용저충방법측량진폭적정도체도료0.1μm；빈역측량적중복성화일치성야교호.저충동태측시방법은정가고、정도고、항간우능력강,가이겁대지감소계산량,제고계통운행속도.
