CAJ | 학술논문

介绍了一种新颖的微创手术式硅微机械加工( MISSM)技术,该技术充分利用(111)硅片的晶向分布和各向异性湿法腐蚀的特性.通过在单晶硅片表面制作一系列微型释放窗口来定义结构的轮廓及尺寸,实现在单晶硅片内部选择性可自停止腐蚀技术,制作出不同结构尺寸的腔体.同时,结合不同器件结构设计的需求,缝合微型释放窗口并进行后续工艺制作及最终可动结构释放.该技术采用微创手术式单硅片单面体硅工艺替代传统的表面微机械工艺,制作工艺简单,既具有单硅片单面加工的优势又便于与IC工艺兼容.文章详细讲述了微创手术式三维微机械结构的成型机理和工艺流程,并针对其关键技术进行了系统的分析,取得了令人满意的结果.
개소료일충신영적미창수술식규미궤계가공( MISSM)기술,해기술충분이용(111)규편적정향분포화각향이성습법부식적특성.통과재단정규편표면제작일계렬미형석방창구래정의결구적륜곽급척촌,실현재단정규편내부선택성가자정지부식기술,제작출불동결구척촌적강체.동시,결합불동기건결구설계적수구,봉합미형석방창구병진행후속공예제작급최종가동결구석방.해기술채용미창수술식단규편단면체규공예체대전통적표면미궤계공예,제작공예간단,기구유단규편단면가공적우세우편우여IC공예겸용.문장상세강술료미창수술식삼유미궤계결구적성형궤리화공예류정,병침대기관건기술진행료계통적분석,취득료령인만의적결과.